中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 141000-0079 JET #9201723 を販売中

BROOKS / PRI AUTOMATION 141000-0079 JET
ID: 9201723
Robot (2) Unit cabins.
BROOKS/PRI AUTOMATION 141000-0079 JETウェーハハンドラーは、高速で高精度なウェーハ転送とサイジングを実現する自動ウェーハハンドリング装置です。このシステムには高度な多次元モーションコントロールユニットが装備されており、さまざまな形状やサイズのウェーハを迅速かつ正確に配置、回転、測定できます。Jet Wafer Handlerは、高精度ローディングマシン、アクセスアーム、高効率の真空搬送ヘッド、および精密振動アセンブリで構成されています。ローディングツールは、幅広い種類のウェーハタイプとサイズを素早く正確にアセットにロードすることができます。アクセスアームには、複数のリニアガイドと調整可能な動作範囲が装備されており、モデル内のウェーハを正確に細かく制御および操作できます。真空搬送ヘッドには高速真空搬送ハブが装備されており、ウェハの効率的な搬送と位置決めが可能です。最後に、振動アセンブリは、処理中のウェーハの正確かつ一貫した回転を提供します。この装置は、最大30回転の速度で最大8。25インチのウェーハを効率的に制御および転送することができ、1秒あたりの転送が可能であり、アイドル時間を最小限に抑えて高スループットを実現します。さらに、強力な統合ビジョンシステムにより、アスペクト比とエッジ測定の精度が0。1mm以上になります。統合されたタッチスクリーンインターフェイスにより、ユーザーは素早く簡単にユニットをプログラムして監視し、真空レベル、走行速度、ギャップ幅などのパラメータを制御できます。Jet Wafer Handlerは、Class 1000 Clean Room互換環境に囲まれており、ウェーハへの汚染物質の影響を最小限に抑え、プロセスの安定性を最大限に高めるように設計されています。このマシンにはさらに安全インターロックツールが装備されており、資産の潜在的な意図しない動きに対する保護策を提供します。モデルのすべてのコンポーネントは、信頼性の高いハンドリング性能を保証するために徹底的にテストされています。要するに、BROOKS 141000-0079 JET Wafer Handlerは、幅広い形状とサイズのウェーハの高速、正確、信頼性の高い転送とサイズを提供するように設計された強力な自動ウェーハハンドリング装置です。システムの統合されたモーションコントロールユニット、真空輸送ヘッド、振動アセンブリ、安全インターロックマシン、およびビジョンツールは、高いレベルの精度、速度、安全性、および信頼性を保証します。
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