中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 105151 #9267821 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 105151ウエハハンドラは、ラボなどのクリーンルーム環境における半導体ウェハーの取り扱い、加工、搬送に使用される最先端の機器です。薄膜成膜からリソグラフィ、計測まで、半導体製造用途において精密なウエハハンドリング操作を提供するとともに、ウエハーを汚染から保護するための軽量なラボエンクロージャを提供します。ウェーハハンドラは、メインユニット、オートローダーポート、ウェーハコンベア、真空ロボット、マニピュレータアームの配列、90°アングルリフトおよびウェーハトレイ、およびエアアクチュエータおよび制御システムで構成されています。本体にはロボットやその他の部品を収納し、気密で一貫した温度と湿度環境を維持できる取り出し可能なトランスファーチャンバーを作成します。オートローダポートは、ウェハ入力とアンロードプロセスを効率的かつ正確に管理します。粒子の発生と汚染を最小限に抑えるように設計された完全機械式ユニットです。コンベアは、ウェーハ、カセット、およびチャンバーを介してロード/アンロードするためのトレイを移動させ、カセットとトレイ間のウェーハのシームレスな転送と取り扱いを可能にします。マニピュレータアームは、ウェーハ転送中にロボットモジュール内のプログラムされたルートに従います。アームには、ウェーハとの偶発的な接触を防ぐためのガードが内蔵されています。90°の角度リフトは、ウェーハをトレイレベルからロボットレベルに機械的に輸送するドライブ、リフト、および回転機アセンブリで構成されています。ウェーハトレイは、ロボットからカセット、トレイ、ウェーハを取り出し、トレイレベルに搬送するスマートデバイスです。エアアクチュエータと制御システムは、オートメーションシーケンス制御を提供し、各アームの個々のアクチュエータシステムは、可能な限り高い精度で所定の位置に調整します。BROOKS 105151ウェーハハンドラは、ラボの清潔さを損なうことなく、ウェーハ輸送の高精度を確保するように設計されています。高度な自動化機械は信頼性の高いウェーハハンドリング機能を提供しますが、内部チャンバーは非常にクリーンで制御された環境を提供し、ウェーハを汚染から保護し、一貫した動作温度を維持するのに役立ちます。