中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 017-0950-01 #9390214 を販売中
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ID: 9390214
Robot
002-9400-12 Series 8 Controllers
100902 Pre-aligner
TT1ENR2-1-TVS-ES-BROOKS6 Pendant
Missing outside case.
BROOKS/PRI AUTOMATION 017-0950-01は、最新の電子システムのコンポーネントとして使用される半導体ウェーハを転送および組み立てるために設計された高度なウェーハハンドラです。カセットからプレートを搬送するためのウェーハの積み降ろしを容易にし、個々のウェーハをウェーハ全体に組み立ててさらなる処理を行います。このユニットは、コンベア装置を含む堅牢なフレームと、ウェーハを移動して組み立てるために協力するさまざまなコンポーネントで構成されています。ウェーハハンドラの基本的なプロセスは、カセットまたは搬送プレートからウェーハを本体にアンロードすることから始まります。高速モータ駆動コンベアは、各ウェハをマニピュレータヘッドまで運び、自動的にアライメントされてアセンブラヘッドにロードされます。次に、アセンブラヘッドがウェーハを回転させて整列させ、ロボットアームを操作してウェーハをアセンブラフレームの最終位置に移動させます。その後、アセンブラはウェーハフレーム上に既に構築されている相互接続に適合するようにウェーハをインデックス化します。システムは、精度と精度のいくつかの異なるレベルで動作することができます。プロセスの各ステップで、特殊なセンサーは、直径、平坦度、表面粗さなど、ウェーハのさまざまなパラメータを測定し、設定された仕様からの逸脱が検出された場合に是正措置を講じることができます。その後、ウェーハを固定し、マニピュレータアーム上の自動ヘッドがウェーハをアセンブラに正確に導きます。BROOKS/Priウェハハンドラの効率的な自動化により、生産プロセスが大幅に改善されます。ユニットは人間の相互作用を必要とせず、ヒューマンエラーの可能性を大幅に低減します。精度と歩留まりを最適化するために、機械内でさまざまなパラメータを調整することができ、高品質のウェーハの製造に伴うコストを削減します。さらに、他の自動化された機器やコンピュータと容易に統合することができ、手動操作に依存することなく、さらなる自動化と迅速な生産速度を可能にします。
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