中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 017-0277-01 #293653288 を販売中

ID: 293653288
Robot.
BROOKS/PRI AUTOMATION 017-0277-01は、生産自動化アプリケーション向けの信頼性が高く、効率的で機能豊富なウェハハンドラです。その特徴と機能は、ラボ研究から大量の製造環境まで、複数の産業用途に適しています。このデバイスは、独自の軸回転または「渦巻き」機能でウェーハを輸送および洗浄し、既存の製品ラインに簡単に統合されます。ハンドラーはユーザーフレンドリーなタッチスクリーンコントロールと頑丈なアルミニウム強化グラスファイバーハウジングで設計されています。人間工学に基づいたハンドルバー設計と直感的で使いやすいインターフェイスにより、操作と操作が簡単になります。調整可能なアライメントフレームにより、ハンドラーは最大3。5インチ(8。9 cm)のサイズのウェーハを処理できます。それは標本の手荷重そして荷を下すことのための上ローディング、二重鎖のコンベヤーシステムを特色にします。さらに操作を簡素化するために、ハンドラーは自動的にセルフクリーニングサイクルを備え、チャンバーの内部をきれいにしてウェーハの汚れや損傷を防ぎます。さらに、このデバイスは、手動洗浄だけでなく、使用中の基板の環境要件とタイプに基づいて構成可能な自動洗浄サイクルを可能にします。このデバイスには、上流および下流のマシンへの接続用のポートも含まれているため、さまざまな製品ラインと互換性があり、動作温度と湿度の点で汎用性があります。ポートを使用して内蔵メモリにアクセスすることもでき、プロセスデータや保存されたプログラム設定を簡単に転送できます。プロセスの再現性と精度を確保するために、BROOKSウェハンドラーにはさまざまな診断システムが組み込まれています。これには、高精度の熱電対エンコーダ、設定可能なアラーム、精密校正済みインパクトカウンタ、およびミスアライメントを識別するための光学モニタリングシステムが含まれます。この装置は、範囲外のプロセスパラメータに可聴アラームと視覚アラームの両方を提供し、タイムリーな調整と修正を可能にします。全体として、PRI AUTOMATION/PRIウェーハハンドラは、高度な自動化アプリケーションにとって不可欠なコンポーネントであり、堅牢で効率的なパッケージで信頼性と再現性の高いパフォーマンスを提供します。
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