中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 017-0266-01 #9111112 を販売中
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BROOKS/PRI AUTOMATION 017-0266-01は、高精度のウェーハ輸送機能とインテリジェントなウェーハ輸送制御機能を高硬度パッケージで提供するように設計されたウェーハハンドラです。この高度なウエハハンドラは、高品質のコンポーネントから構成され、信頼性の高い長寿命のパフォーマンスを保証します。内部サイズは39インチx 25。5インチx 35。6インチで、300mm、 200mm、 150mm、 125mmなどの幅広いウェーハサイズに対応しています。ウェーハハンドラには、真空吸引カップを搭載したロータを搭載し、ウェーハの信頼性の高いハンドリングと自動ウェーハの位置決めを実現しています。このウェハハンドラは、ビジョン対応のオートメーション機器を備えており、高精度のウェハポジショニングを提供し、リアルタイムウェハアライメントとバーコードスキャン機能をサポートします。このシステムは、一貫した精度と再現性でウェーハを整列、方向付け、転送することができます。このビジョンユニットは、ウェーハ上でバーコードをスキャンし、バーコード情報をすばやく検証およびデコードすることができるため、ダウンストリームシステムで使用することができます。ユニットには、メンテナンスを支援するために、複数の簡単にアクセスできるドアと取り外し可能なモジュール構造が装備されています。モジュール構造によりウェーハローディングも容易になり、ウェーハハンドラをウェーハキャリアに便利に接続することで、ローディング時間を大幅に短縮できます。さらに、このウェハハンドラは、密閉された真空チャンバと制御されたウェハ転送プロセスにより、搬送時のウェハ損傷を大幅に低減するように設計されています。ウェハハンドラには、事前にプログラムされたタスクとプロセスを実行できる高度なソフトウェアパッケージも装備されています。このソフトウェアは、ユーザーが簡単にウェーハトランスポートタスクをカスタマイズすることができ、洗練されたウェーハトランスポートパフォーマンスのための速度、加速、減速などのパラメータを簡単に調整することができます。ソフトウェアはまた、直感的な操作と制御を可能にするユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供します。BROOKS 017-0266-01ウェーハハンドラーは、信頼性の高い正確なウェーハの位置決めと輸送を提供するように設計された高度なウェーハトランスポートマシンです。この頑丈なユニットは長年持続するように設計されており、耐久性の高い部品で作られています。統合されたビジョンおよびソフトウェア制御ツールは、さらに高度な制御および操作機能を提供し、最高レベルのウェーハ輸送性能を保証します。
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