中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 013077-089-20 #9095775 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 013077-089-20は、ウェーハ基板のローディング、アンロード、転送を自動化するために設計されたウェーハハンドラです。このウェハハンドラは、半導体業界で一般的に使用されており、テストやローディング操作など、さまざまなアプリケーションで使用されています。このハンドラは、200mmおよび300mmの直径のシングルウェーハと、1つのウェーハ/ダイ構成で最大8つのウェーハを持つ複数のウェーハ製品を処理することができます。ユーザーインターフェースコントローラで操作し、セットアップと操作が簡単に行えます。オーバーヘッドシャッターとフレームを備えており、デバイスにほこりのない環境を提供することにより、デバイスを粒子や振動から保護するために使用できます。フレームはまた、ローディングまたはアンロードのためのウェーハを正確に整列させる能力をハンドラに提供します。このハンドラーは、フロントローディングとアンロード、サイドローディングとアンロード、ローディングとアンロードのためのウェハセンシング、ウェハクランプ、ウェハエスケープなど、さまざまなウェハアクセス技術を備えています。また、最大25インチ/秒のウェーハ転送速度も可能です。また、ウェーハアライメントシステムを搭載し、レーザービームセンサーを使用してウェーハ転送時の精度アライメントを確保しています。このハンドラには高度なクローズドループ位置決めシステム（CLPS）が搭載されており、精密なウェハ操作とリアルタイム最適化が可能です。また、ABS （Air Bearing System）を搭載しており、ウェーハの積み下ろし時にスムーズで振動のない移動を可能にします。BROOKS 013077-089-20は、ウェーハ基板の自動積載、積み下ろし、転送のための使いやすく、信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションです。多種多様な作業が可能であり、精密なウエハ操作と滑らかで振動のない動きを提供する高度な技術機能を備えています。その結果、このウェハハンドラは、さまざまな半導体アプリケーションに最適なソリューションです。