中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 003-9010-13 #9111117 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 003-9010-13は産業半導体産業で使用される機械化されたウエハハンドラです。このウェーハハンドラは、最高の精度と信頼性でウェーハを転送し、移動するように設計されています。直径200mmまでの基板に対応可能です。Automation BROOKS 003-9010-13は、2軸サーボ駆動装置と静止した重力式ウェハシュートで構成されています。2軸サーボドライブシステムは、クローズドループデジタルサーボユニットによって駆動され、正確で高速な位置決め制御が可能です。サーボモータは正弦波または台形運動プロファイルを備えており、精度に影響を与えることなくウェーハを最高速度で処理するように設計されています。ドライブマシンには割込みツールとプログラム可能な電流制限が装備されており、繊細なウエハを安全に取り扱うことができます。静的ウェーハシュートは、最大4つのウェーハをハンドラに正確かつ確実に提供するように設計されています。ウェーハごとに個別のローディング/アンロード・ポートを備えており、バッチ・ローディングと連続フィードの切り替えが可能です。さらに、ウェーハシュートはウェーハのたわみを低減するように設計されており、振動やノイズを最小限に抑えるように設計されています。PRI AUTOMATION 003-9010-13には、統合されたESD保護資産、密封された光学エンコーダ、オンボード、デジタルデータ取得および制御モデルなど、信頼性と精度を確保するのに役立つ多くの追加機能があります。これらのすべての機能により、ウェーハを高精度で信頼性の高い処理が可能です。自動化003-9010-13は産業半導体産業の必要性を満たすように設計されています。このウエハハンドラの特徴は、厳しい精度要件を満たすことができる高度なウエハハンドリングソリューションを必要とする人にとって理想的な選択肢です。高度な機能と使いやすさを備えたBROOKS/PRI AUTOMATION 003-9010-13は、高品質で信頼性の高いウェーハハンドラを必要とする人に最適です。