中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-9400-04 #9267824 を販売中
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BROOKS/PRI AUTOMATION 002-9400-04は、高効率で高性能なウエハハンドラです。この自動ロボットシステムは、ウェーハ加工、搬送、試験、検査などの半導体製造プロセスで精密な作業を行うように設計されています。BROOKS 002-9400-04は、複数の関節で構成されたロボットアームで構成され、最大限の柔軟性と動きの範囲を提供し、ロボットの動きは統合されたコントロールパネルからのコマンドによって支配されます。ロボットには、正確なモーションコントロールと監視のためのセンサーとコンピュータ支援制御システムが装備されています。このロボットには、仕様外または欠陥のあるウェーハを表示、分析、認識するためのビジョンシステムも含まれています。ビジョンシステムは、例えば、欠陥チップ、壊れた接触、および表面の欠陥を検出することができ、非破壊試験のためのウェーハトポグラフィーの分析に使用することができます。ロボットアームは、ウェーハサイズ、重量、形状の多種多様に対応できるように設計されています。特別なアタッチメントを使用して、最大2つのウェーハを同時に給餌することができます。また、1列あたり最大4枚のウェーハをピッキングして配置することも可能であり、グリッパー機構における広範囲の公差を可能にします。ロボットは、最大4つの異なるアセンブリ、ピックアンドプレイステーションでウェーハを処理するようにプログラムすることができます。ロボットの全面的な設計は信頼性および正確さのためになされ、一貫した、反復可能な結果をもたらします。高解像度エンコーダと高精度モータにより、ロボットの動きを厳密に制御し、高速な動きと正確な位置決めを可能にします。ウェーハハンドラは堅牢なフレームで構築されており、高振動および粉塵環境に耐えることができ、電気および機械部品を保護するのに役立ちます。優れた性能と信頼性を提供することに加えて、PRI AUTOMATION 002-9400-04は維持しやすいです。ロボットのすべてのコンポーネントはモジュール式で、必要に応じて簡単に取り外して交換することができます。また、ユーザーフレンドリーで直感的なインターフェイスも提供しています。ロボットは、既存の生産プロセス制御システムと同期することができ、手動で介入する必要なく自動設備を可能にします。002-9400-04は、優れた性能、柔軟性、精度を提供する高度なウエハハンドラです。信頼性が高く効率的な設計で、精密ウェーハ処理に最適です。
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