中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7391-52 #9254399 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 002-7391-52は、ウェーハ製造プロセスの精度と信頼性を提供するように設計された完全自動ウェーハハンドリングソリューションです。マルチスタックウェーハハンドリング、多目的ウェーハローディング、ウェーハレベルテストなど、幅広い用途向けに設計されています。可動式アームアセンブリ、ウェハトランスファーステーション、ウェハオリエンテーションデバイス、電子モーションコントローラからなるロボット機器です。可動式アームアセンブリは、ウェーハを1つのステーションから他のステーションに輸送し、ウェーハの向きと動きを正確に制御する責任があります。これはモーター、接合箇所、および位置センサーの組合せによって達成される。ウェハトランスファーステーションはプロセス段階にウェハを輸送するために使用され、ウェハトランスファーステーションはウェハトランスファーステーションに入る前にウェハトランスファーステーションを適切に整列させるために使用されます。これらのコンポーネントを組み合わせることで、正確で信頼性の高いウェーハムーブメントを実現します。移動可能なアームアセンブリに必要なコマンドを提供し、ウェーハの精密移動を可能にするため、電子モーションコントローラはシステムの中心です。このコントローラは、HumanMachine Interface （HMI）やProgrammable Logic Controller （PLC）のような複数の入力デバイスによって駆動されます。これらのコントローラはユニットネットワークに接続することができ、機械の遠隔監視と制御を可能にします。さらに、BROOKS 002-7391-52ツールは、アプリケーションにカスタムソリューションを提供するために、さまざまなセンサーとプロセスソフトウェアで構成することができます。例えば、ウェーハの位置を追跡し、圧力を測定し、汚染を検出し、ウェーハの正確な位置決めを提供するために使用することができます。これにより、複数の本番稼働にわたって一貫した結果が保証され、プロセスのバリエーションを削減できます。全体として、PRI AUTOMATION 002-7391-52アセットは、スループットと精度を向上させ、ダウンタイムとコストを削減する汎用性と信頼性の高いウェーハハンドリングソリューションです。既存のシステムに簡単に統合され、プロセス全体を合理化するためのリアルタイムデータと分析を提供できます。これにより、大量のウェハベースのアプリケーションに最適なソリューションとなります。