中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7391-08 #9111413 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 002-7391-08ウェーハハンドラは、高性能な半導体製造のために設計された高精度のオートメーション装置です。半導体ウェーハの大量、高収率、高信頼性の生産環境での自動プロセス装置へのロードおよびアンロードに使用されます。ウェーハハンドラは完全に自動化された設計で、プロセス機器からのウェーハの高速かつ正確なロードとアンロードを可能にします。この装置には、自動ウェーハリフトとピックアップ用の独立したロボットアーム、およびプロセス機器とハンドラーの処理ステーション間のウェーハの転送が含まれています。ロボットアームはかみそりの鋭いエッジを備えており、それらを損傷することなく大量のウェーハを処理することができます。BROOKS 002-7391-08ウェーハハンドラは、クリーンルーム環境での使用のために設計されています。それはクラス10およびクラス100の条件のために評価され、それを生産設備の広い範囲のために適したようにします。このシステムには、操作中の最高レベルの清潔さを確保するために、調整可能なエアフィルターユニットが装備されています。ウエハハンドラには、停電防止やセルフモニタリングなどの高度な安全機能が装備されています。電源障害が発生した場合、機械は自動的にシャットダウンし、プロセス機器への潜在的な損傷を防ぎます。セルフモニタリング機能により、ツールは潜在的な障害状況を監視することができ、問題を示す可能性のある異常な動作をオペレータに警告することができます。PRI AUTOMATION 002-7391-08ウェーハハンドラは、大量生産環境において信頼性が高く効率的なソリューションを提供します。その高性能な設計と機能により、最適なウエハハンドリング機能が保証され、高度な安全機能により、最高品質の半導体製造に最適です。