中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7090-05 #9111115 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 002-7090-05は、優れた精度とウェーハ加工速度を実現する高度なウェーハハンドラです。多種多様な材料に対して処理時間を最適化するハイスループットウェーハハンドラです。このハンドラは、より高い柔軟性と再現性を提供するReactive Single Wafer Loadlockに基づいています。ウェーハカセットからカセットへの転送は、比類のないスループット・レートを提供します。より大きなウェーハサイズの機能により、スループット時間が短縮され、異なるウェーハサイズを処理することができます。マシンビジョンシステムを統合することで、すべてのウェハサイズに対して迅速かつ正確にウェーハアライメントを実現できます。PMOSウェーハアライナー機能は、より正確なウェーハの向きを可能にし、堅牢で信頼性の高い設計です。さらに、BROOKS 002-7090-05は、手動でウェーハを取り外し、再配置し、ハンドラにロードする必要がなくなるコンベアスタイルのロボットを提供し、全体的なプロセスをより効率的にします。統合されたエンドオブアームツーリングにより、正確さを損なうことなく正確なウエハハンドリングが可能です。これは、より繊細なウェーハにとって特に重要です。PRI AUTOMATION 002-7090-05には、複数のシームモジュール、プロセス温度同期、モーションコントロール軸セレクタなどの高度な制御機能も含まれています。これらの機能により、より迅速で信頼性の高いウェーハ処理が可能になります。高度なデータロギング機能により、すべてのプロセスデータが正確に記録され、簡単に取得できるようになります。002-7090-05は、優れた性能と精度を提供する信頼性の高いウェハハンドラです。高度なシステム設計と統合機能により、さまざまな種類のウェーハを迅速かつ一貫した処理が可能です。メンテナンス要件が低く、高スループット機能を備えているため、さまざまなウェーハ処理アプリケーションに最適です。