中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7090-04 #9111114 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 002-7090-04は、半導体業界向けの全自動ウェハハンドラソリューションです。ピックアンドプレイステクノロジーを自動化したシングルコラムプロセッサを使用して、大量のウェハの高速処理とテストを可能にします。このハンドラーには、ウェーハ操作を最適化し、最大限の安全性を提供するように設計されたさまざまなヘッドとアタッチメントが装備されています。BROOKS 002-7090-04は、最大8 ″ （200mm）の直径のウェーハに対応可能です。また、マニュアル/ダイナミックピックとプレースの操作にも対応しており、2つのマニピュレータ、1つは自動ウェハローディングとアンロード、もう1つは手動ウェハハンドリングにも対応しています。統合されたサーボ制御のピック・アンド・プレイス機構は、ウェーハをあるロボットから別のロボットに、そして処理ベッドから回収トレイに移動させることができ、一貫した性能と最高の精度を保証します。ウェハハンドラには、プログラマブルオートメーション制御用の統合されたプログラマブルロジックコントローラ（PLC）と、リモート監視および制御用の組み込み通信機能が装備されています。直感的なユーザーインターフェイスは、操作を簡素化するための4。3 ″色のタッチスクリーンディスプレイを備えています。このユニットには、Webベースのユーザーインターフェイスとレポート機能も含まれており、ユーザーはウェーハをオンラインで追跡してパフォーマンスを監視することができます。自動化されたハンドリング機能に加えて、PRI AUTOMATION 002-7090-04には、ロボットウェーハアライメントシステムも含まれています。この高度なアライメントシステムは、加工ベッドに配置する前にウェーハを自動的に中心に配置するように設計されています。レーザーベースのシステムは、ウェーハサイズを即座に測定し、最適化された処理のためにその位置を自動的に調整します。自動化されたウェハハンドラは、大量生産のために設計されており、信頼性の高い正確なウェハハンドリング性能を提供します。このユニットには、安全で効率的な操作を保証するために使用できる内部安全スイッチも含まれています。さらに、ウェーハの交換や取り扱いを迅速に行うためのエンドオブアーム工具も装備しています。これらの機能はすべて、安全で一貫した効率的な生産環境を確保します。