中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-3900-05 #9111420 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 002-3900-05は、半導体包装環境の厳しい要件を満たすように設計された高性能ウエハハンドラです。これは、プロセスを自動化し、ウェーハの手動ロードとアンロードに関連するコストを削減するために使用され、生産性を向上させ、効率を最大化します。このハンドラには4軸サーボ制御ロボットアームが搭載されており、ウェーハ1台あたり1。8秒のフルサイクルレートでウェーハ転送ステーションを動作させることができます。ロボットアームには、人間工学に基づいて設計されたウェーハの精密処理用のエンドエフェクターと、ウェーハマッピングを効果的に操作するためのタイトな領域に到達する能力を備えています。視野精度も備えており、ウェーハ位置を正確に認識し、ウェーハをステーションに取り付けることで、ロード時間を短縮することができます。ロボットアームには、ウェーハの存在を検知するボトムエンドウェーハセンサーが内蔵されています。ウェハハンドラは、8インチから12インチまでのウェハサイズに対応でき、鉛フリー部品で製造されています。また、クリーンルームの要件に合わせて設計されており、エポキシコーティングされたアルミニウムベース、スターホイールジャム耐性技術、および非金属の真空セグメントを使用して清潔度を向上させています。ウェハハンドラは、完全にプログラム可能なプラットフォームであり、便利なプログラミングと監視のための強力なユーザーフレンドリーなソフトウェアを使用しているRJ-45ベースのコントローラで制御されています。また、直感的なタッチスクリーンインターフェイスを備えており、オペレータはコマンドを開始し、ウェーハ情報を表示し、アラームを監視し、必要に応じて操作を変更することができます。ハンドラーには、適切な操作と稼働時間を確保するための診断装置が内蔵されたインターフェイスパネルが装備されています。キーボード、表示およびLEDの表示器のパネルはシステム情報および警報徴候への容易なアクセスを提供します。さらに、コントローラボードには高速12ビットA/Dコンバータが装備されており、最大80レシピを格納することができます。BROOKS 002-3900-05ウェハンドラは、最新の半導体包装環境で優れた性能と信頼性を提供する、高度で信頼性の高いユニットです。使いやすいプログラミング機能、包括的な診断機、直感的なユーザーインターフェイスにより、高い生産性と効率が保証され、あらゆる製造作業にとって貴重な資産となります。