中古 BROOKS / PRI AUTOMATION 001-7500-02 #293585882 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION 001-7500-02は、半導体製造プロセスにおけるウェーハの自動的かつ効率的な転送と輸送を提供するために設計されたウェーハ処理装置です。このシステムには、異なるカセット内および同一カセット内でのウェーハの輸送およびロード/アンロード管理のための複数のプログラムを実行できる高度なコントローラが装備されています。カセット・ツー・カセットまたはカセット・ツー・フープ（フロント・オープニング・ユニファイド・ポッド）アプリケーションで使用できます。このユニットは、ウェーハを正確に移動および位置決めするように設計されたロボットのXYZ構成で構成されています。コントローラは高レベルのプログラミング言語を実行し、ローディング、輸送、アンロード、並べ替えなど、さまざまなタスクをロボットに割り当てることができます。これらのタスクは、手動または自動モーションコントロールを使用して実装できます。ロボットは、迅速かつ正確にコマンドを実行することができ、高効率の半導体製造プロセスをもたらします。このマシンには、バッチの品質を確保するために、ウェーハをロードおよびアンロードする前に識別および検査するために使用される高速ビジョンツールも付属しています。この資産は、ウェーハ表面に発生する可能性のあるわずかな欠陥や不規則性さえも検出することができます。また、ロボットウェハハンドリングシステムにおいて一般的な問題であるウェハミスアライメントの検出も可能です。安全性を考慮するために、機器には、さまざまな安全制限を実施することにより、人員の安全を確保するのに役立つセキュリティ機能が装備されています。例えば、制限を超えた場合にロボットユニットのすべての動作を停止させ、人員や機器への損傷を防ぎ、機械の迅速かつ安全なリセットを可能にするようにプログラムすることができます。BROOKS 001-7500-02は、高い堅牢性と精度を提供する高度なウエハハンドリングツールです。この資産は、効率的かつ合理的なウェーハ転送プロセスを提供することができ、効率と生産性の向上をもたらします。