中古 BROOKS Magnatran MAG7 #130740 を販売中

BROOKS Magnatran MAG7
ID: 130740
Robot arm set Part number: 002-0016-22.
BROOKS Magnatran MAG7は、半導体製造ラボ向けの柔軟で強力なウェハハンドラです。この装置は、1つの機器から次の機器にウェーハを輸送、分類、整列するように設計されており、最大200mmのサイズのウェーハに対応できます。ウェハハンドラは、速度、攪拌、および複数のガントリー構成を調整できる独自の磁気ベルトシステムを使用しています。従来の方法よりも、ウェーハの清浄度と状態をより大きく制御することができます。Magnatran MAG7は、クリーンルーム環境での使用に理想的な機能の印象的なセットを持っています。マシンコンポーネントが開いているため、ピンチポイントが少なく、アクセシビリティが向上します。これにより、ほこりや破片をトラップして気流を減らすことができる従来のエンクロージャの必要性もなくなります。単位はまた騒音、振動および塵であるように設計されています;すべての部品は最も高い標準に設計され、汚染のないきれいな環境を保障するためにステンレス鋼ハードウェアを使用して製造されます。このツールは、一定の直線移動(X軸とY軸)と円形移動(Z軸とα軸)の両方が可能な4軸ガントリー構成で設計されています。これにより、アセットはウェーハを素早く移動および回転させることができ、すべての操作において高精度と精度を提供します。また、MAG7は各軸に対して粗くて微細なモーションコントロールを備えているため、幅広い構成オプションが可能です。MAG7は、200mmおよび300mmウェーハ、10インチおよび12インチのタワブルウェーハ、および8インチの非導電ウェーハなど、さまざまなウエハサイズとタイプに対応できます。また、最大4つのウェーハを同時に処理できるため、スケーリングとスループットが向上します。BROOKS Magnatran MAG7は、半導体産業の自動化と生産要件に最適なソリューションです。この装置は、スループットと精度を向上させながら、清浄度を向上させ、汚染リスクを低減するように設計されています。MAG 7の高度な機能、柔軟性、信頼性により、あらゆる半導体ファブに最適なソリューションです。
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