中古 BROOKS Magnatran 7 #293604921 を販売中

BROOKS Magnatran 7は、単一およびデュアルスタックウェーハ構成の高スループット、最大効率、および信頼性の高い処理を提供するように設計された自動ウェーハ処理装置です。その自動化と柔軟性は、研究開発から大量生産までの環境で使用することができます。このシステムは、さまざまな幅のウェーハをCタイプのプラント構成で処理するウェーハ処理エリアを備えています。ウェーハは上部または下部のいずれかのサポートで処理され、直径150mmから300mmまでのサイズに対応できます。ウェーハは2つのクランプとロールシステムを使用してしっかりと固定され、垂直トラックの上下に輸送されます。ウェーハは手動またはロボットローダー/アンローダーを介して配置および削除されます。操作中は、スピンコーティング、アッシング、エッジビーズシール、ベーキング、乾燥などの複数の工程を実行します。Magnatran 7は、高速かつ正確な位置精度を特徴とする独自のサーボモータによって駆動されます。これにより、ウェーハトラックを迅速に加速および減速することができ、ウェーハを常に正しいタイミングと速度で移動させることができます。また、停止が必要なときにウェーハトラックの位置を正確に検出して調整することができるため、高速運転に適しています。さらに、BROOKS BROOKS Magnatran 7は、ツールイベントの監視やパラメーター設定など、多くの高度な制御機能とプロセスを提供し、再現性のあるプロセス性能と歩留まりを保証します。また、材料が失われる前にウェーハの誤処理を警告するエラーリカバリメッセージ機能も備えています。このマシンには、包括的な故障検出資産と、物理的な事故の可能性を低減するさまざまな安全機能が装備されています。全体的なMagnatran 7は、簡単に設定可能なマイクロ処理環境で、信頼性が高く正確で高いスループット動作を提供します。研究開発から大量生産まで、幅広いウエハ加工用途に最適です。