中古 BROOKS Fixload #9255153 を販売中

BROOKS Fixloadは、部品の取り扱いと搬送作業を合理化するように設計されたウェハハンドラです。半導体業界向けに構築されたこのウエハハンドラは、さまざまなウエハローディング、マッピング、並べ替えアプリケーションをサポートするさまざまな機能とモジュールであらかじめプログラムされています。さまざまなグリップおよび部品保持オプションを備えたFixloadハンドラは、ウェーハ、レチクル、フラットパネル、その他の基板を正確かつ正確に処理できます。手動ローディングのために、BROOKS Fixloadハンドラーには2軸の線形部品操作装置が付属しています。このシステムは、部品のロードとアンロードを簡素化し、部品保持オプションに安全に転送します。手動アンロードのために、Fixloadはピングラバー、パススルーポケット、フラットパネルピックオフオプション、および真空式ウェハポケットを備えています。ピングラバーはウェーハを安全に放出するように設計されていますが、フラットパネルピックオフオプションは温度に敏感な基板の処理に使用するために指定されています。熱および機械的応力に敏感なアプリケーションのために、BROOKS Fixloadには、ウェーハおよび基板を迅速かつ正確に処理するように設計されたオプションのヒートステーションが含まれています。このステーションは、自己完結型の加熱ユニット、迅速な温度応答、および加熱温度の正確な制御を備えています。Fixloadには、ウェーハマッパー、2次元または3次元スプリットチャンバー、真空チャック、ガスノズルなど、いくつかのウェーハトランスポートモジュールも付属しています。精度を確保するために、BROOKS Fixloadハンドラーには、高度なCCDビジョンマシンが含まれています。このツールは、リアルタイムのオートフォーカス、ウェーハ位置認識、柔軟な倍率設定、および画像内の画像機能を提供します。また、正確なサイズと向きでウェーハの存在を自己認識し、ウェーハの動きを調整することもできます。CCDビジョンアセットは、歪みの少ない高解像度画像を提供し、反転アプリケーションに最適です。Fixloadウェーハハンドラには直感的なタッチスクリーンディスプレイが搭載されており、さまざまなウェーハローディング、ソート、マッピング操作を簡単に制御できます。ディスプレイには、すべての操作の完全なトレーサビリティを提供する統合ロギングモデルも付属しています。さらに、BROOKS Fixloadハンドラーには、部品の安全な輸送を保証するさまざまな安全機能が装備されています。これらには、調整可能な速度制限、緊急停止スイッチ、安全なエリア制限が含まれます。