中古 BROOKS FAB Express #127117 を販売中
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ID: 127117
EFEM with wafer handlers, can handle 8" and 12" simultaneously, (2) load ports
Wafer Presenter/Handling Robot with 2 vacuum-holding wafer arms
Robot Track (Y axis)
Series 8 Robot Controller
Robot Teach Pendant BROOKS2-PTN30R2-1-ES
(Qty 2) BOLTS Load Port Modules
BOLTS Load Port Module
InLigner Wafer Aligner
(Qty 2) Devicenet Interfaces
CleanFlow Filter Fan Unit 3000FFU
Keyence Light Curtain SL-C16H
Kramer Tools Firewire Repeater/HUB
Arista Industrial Touchscreen LCD Monitor
Keytronic keyboard with trackball.
BROOKS FAB Expressウエハハンドラは、高性能ウエハハンドリングのニーズに包括的なソリューションを提供します。高度なロボットオートメーションを搭載し、2インチと4インチのウェーハを1ユニットあたり最大40カセット、4つのコンテナで最大80ウェーハまで安全かつ迅速に輸送できるように設計されています。FAB Expressは独自の設計と高速ウェーハ処理により、最高の効率と精度で大量の製品を処理するのに理想的なソリューションです。機器は、次のような高度な機能の広い配列を誇っています。 高速ウェーハアーム加速と減速を備えた多軸ロボットアーム、オートメーション機能を備えたダイレクトドライブモーターとドライブ、正確なアライメントとソートのための高度なカラービジョンシステム、ほこりのないウェーハ転送、ユーザーフレンドリーな構成と監視を備えた直感的なコントロールユニット、短いサイクルタイムのロープロファイルデザイン。また、リフトツールは最大8インチ(200mm)のウェーハを管理できます。さらに、BROOKS FAB Expressはユーザーフレンドリーで安全に操作できます。ユーザーフレンドリーなコントロールインターフェイスにより、ウェーハハンドリング機能の簡単なプログラミングと設定が可能です。最大の安全性を確保するために、このモデルは緊急遮断機能やロックされたキャスターなど、アクティブおよびパッシブの安全対策を備えています。全体として、FAB Expressは大量のウェーハ処理に理想的なソリューションを提供します。高度なロボットオートメーションにより、非常に高速で正確ですが、高度な制御装置と直感的な設計により、操作がユーザーフレンドリーで安全です。このシステムは、簡単なロードとアンロード、ほこりのないウェーハ転送、およびオートメーション機能を備えたダイレクトドライブモータとドライブのための複数のアクセスポイントを可能にします。機能と信頼性を兼ね備えたBROOKS FAB Expressは、高性能ウェハハンドリングのニーズに最適なソリューションです。
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