中古 BROOKS AUTOMATION VTR-5 #293666638 を販売中

BROOKS AUTOMATION VTR-5ウェーハハンドラーは、ウェーハ処理装置内でウェーハを移動・操作するための装置です。これは、1分間に最大800回転のケイデンスで片面または両面ウェーハ処理操作が可能です。VTR-5は、カセット、リアクター、マスクアライナー、オーブン、イオンインプラント間でウェーハを安全に輸送します。ウェーハの搬送を高速化するためのオプションのウェーハ入出力シャトルを備えています。BROOKS AUTOMATION VTR-5は、片面と両面のウェハハンドリング操作をサポートするモジュラーブリッジキャリッジアセンブリを備えています。組み込みが容易なウェーハシャトル設計により、ロボットのロード/アンロードと迅速なウェーハ転送が可能です。制御エレクトロニクスにはプッシュボタンユーザーインターフェイスがあり、LED/LCDが表示されて、特定のコンポーネントが搬送モードまたはエラーモードのときに表示されます。VTR-5には、ウェーハ保護と正確なウェーハ操作を保証する2段階の設計があります。最初の段階は、粒子の汚染を防ぐためにウェーハポッドの周りに包まれたリントフリーの布を含みます。第2段階では、ウェーハのクランプ、位置決め、回転を可能にする敏感なウェーハ位置決め装置を使用します。この敏感な操作により、アライメントレジスターマーカーに対してウェーハを正確に配置することができます。ウエハハンドリング機構は3リンクプロファイルで構成されており、正確なウエハ処理が可能です。この3リンクプロファイルはステッピングモータによって駆動され、50〜300 mmのウエハサイズに対応できます。BROOKS AUTOMATION VTR-5は、大きなウェハローディングとアンロード領域を備えており、破損や汚染を低減します。ウェハハンドラは、モジュラー自動プロトコルキャリア（MAPC）プログラムによって制御されます。このプログラムは、ユーザー定義のレシピを保存し、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供して、ウェーハの処理操作をすばやくプログラムおよび制御します。様々な機器との通信は、RS-485プロトコルを介して有効になります。このシステムにはAllen-Bradley PLCが搭載されており、3相の電源に安全に接続されています。VTR-5 Wafer Handlerは、幅広いウェーハ処理アプリケーションでウェーハを操作するための信頼性と柔軟性の高いツールです。自動化された操作により、ウェーハの動きの精度、精度、制御が保証され、粒子の汚染や物理的損傷の可能性が低減されます。このウエハハンドラは、幅広い機能と機能を備えており、ラボ、半導体、集積回路製造会社などの組織でのウエハハンドリング作業に最適です。