中古 BROOKS AUTOMATION VacuTran 5 #9013390 を販売中

BROOKS AUTOMATION VacuTran 5は、半導体製造で使用される高度な自動ウェハハンドラです。VacuTran 5には、お客様の要件に合わせた複数のプロセス固有のオプションが含まれています。柔軟なプラットフォーム上に構築されたBROOKS AUTOMATION VacuTran 5は、ウェーハ輸送、ウェーハ選別、現場でのウェーハ処理、ウェーハリサイクルなど、さまざまな半導体アプリケーションに適しています。VacuTran 5は、トランスポートメカニズムを収容するベースユニットと、ソフトウェアとユーザーインターフェイスを収容するコントローラモジュールの2つの主要コンポーネントで構成されています。ベースユニットは、頑丈なフレーム、電動輸送レール、およびウェーハトランスポーターを収容するスライディングドロワーで構成されています。トランスポーターは、レール上の車輪によって誘導され、電気モーターによって押され、引っ張られます。モーター駆動システムは、ウェーハのサイズや形状に関係なく、最適な性能を提供するように設計されています。コントローラモジュールには、ソフトウェアエンジンとユーザーインターフェイスが含まれています。ソフトウェアは、ウェーハの輸送と操作を容易にするように設計されています。ウェーハサイズや形状の分析、最適な搬送速度の選択、ウェーハのスパンのパターンなど、自動化されたセットアッププロセスが含まれています。自動ウェーハアライナーは、搬送前にウェーハの正確な位置決めを保証し、潜在的なずれを排除します。さらに、BROOKS AUTOMATION VacuTran 5のユニークなウェーハシェーピングアセンブリを使用して、ウェーハを形状変更および復調することもできます。VacuTran 5は、温度と湿度を調節するための組み込みの環境制御システム、過度の動きや取り扱いがある場合に人員を検出して警告する安全センサーなど、さまざまな安全機能を提供します。BROOKS AUTOMATION VacuTran 5は、完全に自動化されたウェハローディングとアンロード機能を備えた唯一のウェハハンドラです。システムは、ウェーハを安全かつ正確に分配し、大小のウェーハを同時に処理することができます。全体として、VacuTran 5は堅牢で信頼性の高いプラットフォームを提供し、半導体ウェーハの効率的かつ正確な取り扱いを容易にし、産業用途に最適です。BROOKS AUTOMATION VacuTran 5は、自動輸送やユーザーフレンドリーなソフトウェアなどの機能を備え、あらゆる半導体生産ラインに高性能、汎用性、安全性を提供します。