中古 BROOKS AUTOMATION VAC407 #9211501 を販売中

BROOKS AUTOMATION VAC407は、半導体製造の製造プロセスで使用するために設計されたウェハハンドラです。VAC407は、エッチャーや炉などのプロセスツールとロボットアームによるウェーハカセットの間でウェーハを交換する自動化装置です。BROOKS AUTOMATION VAC407は、9インチおよび12インチのウェーハと、厚さ200ミクロンまでの8インチ、12インチ、および16インチのウェーハを処理できます。このシステムは、タッチパネル上で動作するユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を介して動作します。これにより、オペレータはプロセスレシピのパラメータを簡単に変更できます。調整可能なパラメータには、ウェーハの位置と向き、ウェーハの速度と加速度、さまざまなツール間の移動時間、使用される真空と圧力のレベルが含まれます。VAC407には2つの独立したロボットアームが装備されており、ウェーハ交換ツールとウェーハカセット間の同時転送が可能です。このユニットには、交換のための正しい方向にウェーハを保持する真空ピックアップが装備されています。さらに、マシンには、正確な転送を保証するユニークなマッピングアルゴリズムがあります。BROOKS AUTOMATION VAC407には、ウェーハカセットとツールを検索および検証するための強力なコグネックスビジョンツールが装備されています。これにより、ロボットアームは常に正しいウェーハカセットと正しい処理ツールとウェーハを正しく識別して交換することができます。VAC407は、ロボットの衝突、環境汚染、異常なプロセス条件を防止するための統合安全資産も備えています。このモデルには、強力な空気圧機能と、自動ツールシャットオフや緊急停止ボタンなどのソフトウェア安全機能が含まれています。また、自動的に異常状況をチェックし、タッチスクリーンに表示する自己診断機能を備えており、システムを安全に操作できるようにしています。BROOKS AUTOMATION VAC407は、正確な転送を保証し、処理中にウェーハの汚染を防止する信頼性の高い、ユーザーフレンドリーなウェーハハンドラーです。また、強力な安全機能と自己診断機能を備えているため、信頼性が高く、故障の可能性を低減できます。