中古 BROOKS AUTOMATION VAC-409 #293641123 を販売中

BROOKS AUTOMATION VAC-409は、半導体ベースの材料セットを迅速かつ効率的に輸送、操作、および提供するように設計されたウェハハンドラです。この汎用性の高いマシンは、単純なロボットマテリアルハンドリングから複雑な真空補助重工程まで、さまざまなアプリケーションで使用できます。このマシンは、真空ポート、高精度サーボモータ、およびインターフェースコンポーネントのユニークな組み合わせで動作し、信頼性と再現性の高いパフォーマンスを提供します。モジュラー設計により、金型の取り外し、選別、計測、その他の先進的な材料加工など、幅広いプロセスでの動作が可能です。VAC-409は、向きに関係なく、最大250グラムのペイロードを備えた1"、2"、4"、6"、および8"ウェーハを処理することができます。また、取り外し可能な真空電源と、EMCマテリアルセットによる使用可能な液体温度制御も備えています。このロボットは、X軸に250mm、 Y軸に126mmの合計移動範囲を持ち、あらゆる方向に材料セットをピックアップ、持ち運び、堆積することができます。その長寿命の真空ポンプは、駆動トルクの選択で静的および動的真空制御の両方を提供し、力制御とシステムの柔軟性を可能にします。BROOKS AUTOMATION VAC-409の設計は、摩耗を低減し、精度を最大化するために最適化されています。低慣性サーボモータを搭載し、非接触リニアエンコーダを備え、ウェーハの超精密な動きを提供します。システム全体にユーザーフレンドリーなツールが装備されており、メンテナンスが容易です。VAC-409は半導体材料加工用途に最適です。これは、材料セットやプロセスの広い範囲のための優れたサポートを提供し、優れた再現性と信頼性の高い性能を提供します。BROOKS AUTOMATION VAC-409は、簡単なロボットマテリアルハンドリングや複雑な真空アシストプロセスステップに使用されるかどうかにかかわらず、堅牢で信頼性の高いソリューションです。