中古 BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express #293591710 を販売中

BROOKS AUTOMATION Techware 5 Expressは、BROOKS AUTOMATIONによって設計および開発されたウェハハンドラです。最新のオートメーション技術とBROOKS AUTOMATION製品の堅牢な信頼性とサポートを組み合わせることで、迅速で正確で効率的なウェーハ処理機能を提供するように設計されています。Techware 5 Expressは、最大500mmウェーハまで対応可能なマルチヘッドウェーハハンドラです。ウェーハスループットを向上させ、欠陥を低減し、スループットを向上させることで歩留まりを向上させるように設計されています。また、ウェーハの移動や配置など、人間が介在することなくさまざまな自動化機能を実現します。BROOKS AUTOMATION Techware 5 Expressは、機器の制御センターとして機能するメインフレームと、3つのメインサーボを収容するロボットアームの2つの主要コンポーネントを備えています。ロボットアームは、メインフレームとは独立してウェーハの選別、配置、転送を行います。ロボットアームは、ウェーハへの到達や挿入、搬送スロットからウェーハを伸ばすなど、さまざまな動作が可能です。また、複数のウェーハを一度にデポジットおよびピックアップし、複数の方向に分離したウェーハを同時にデポジットすることもできます。ロボットアームの高感度センサーとフィードバックシステムにより、ウェーハを必要な位置に正確に配置し、バリエーションを最小限に抑えることができます。また、直感的な制御ソフトウェアと診断ツールを備えており、効率的かつ正確な操作を可能にします。ソフトウェアは、ウェーハスループットを最適化するために設計されたいくつかのアルゴリズムと、人員、製品、およびユニット自体の安全性を確保するためのさまざまな安全チェックで構成されています。Techware 5 Expressは、SOI、 MEMS、 TFTを含む2インチから9インチまでのさまざまなサイズのウェーハに対応できます。また、シリコン、石英、アルミニウムなどのウエハ素材にも対応可能です。BROOKS AUTOMATION Techware 5 Expressは、診断サポートとサービスを提供する内蔵のメンテナンスツールも備えています。メンテナンスモジュールは、資産の状態を監視し、必要に応じてアラートを表示し、オペレータがあらゆる問題に迅速に対応できるようにします。また、モデルのファームウェアを更新するために使用することができ、機器は技術の急速な進歩に追いつくことができます。全体として、Techware 5 Expressは信頼性の高い汎用性の高いウェハハンドラであり、高速で正確で効率的なウェハハンドリング機能を提供します。複数のサイズ・種類のウェーハに対応し、さまざまな自動運転が可能です。さらに、直感的な制御ソフトウェアと組み込みメンテナンスシステムにより、操作が可能な限り効率的であることを保証します。自動化された機能と堅牢な信頼性を兼ね備えたBROOKS AUTOMATION Techware 5 Expressは、あらゆる生産環境に最適なウェハハンドラです。