中古 BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express #293591708 を販売中

BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express Wafer Handlerは、1つのプロセスツールから別のプロセスツールへの少量/バッチウェーハ転送を自動化するために特別に設計された専用のソフトウェアおよびハードウェア機器です。このオートメーションソリューションは、小規模なラボや設備、または低いウェーハスループットを必要とするアプリケーションに最適です。Techware 5 Express Wafer Handlerfeaturessophisticated、ユーザーフレンドリーなソフトウェア、および信頼性の高いサーボおよびステッピングモータは、専用の3軸コントローラによって制御されます。これにより、位置、速度、加速度パラメータを直接制御して、ウェーハを高速かつ正確に転送できます。また、システム・ソフトウェアを使用することで、ウェーハ間の移動を容易に設定したり、実際/ターゲットの位置と速度値を監視したりすることができます。さらに、このユニットには、自動的かつ安全にウェーハをロードポートから持ち上げるための統合されたピックアンドプレイツールと、機械式ロボットアームのオプション制御用のアナログ+/-10V入力が含まれています。このウェハハンドラには、機械を干渉から保護するための緊急停止や安全インターロックなどの安全機能が完全に装備されています。このツールは、制御および再現可能な製造作業のために最大200のプログラムを格納することもできます。統合された機能安全評価により、資産の安全性と信頼性が大幅に向上します。例えば、モーションコマンドが許可される前にロボットは準備ができている状態でなければならず、入力信号と出力信号は任意の動きが発生する前に所定の論理条件でなければなりません。BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express Wafer Handlerは、ステンレス製のスチールカラムと塗装されたベースプレートを備えた堅牢な構造で、メンテナンスとアップキープで設計されています。優れた性能と速度が1m/sに達し、+/-0。05mmの再現性を備えたこのウェハハンドラは、半導体製造プロセスのバッチ転送に最適なソリューションです。直感的なユーザーインターフェイスと高度な安全機能を備えたTechware 5 Express Wafer Handlerは、オートメーションのニーズを達成するための適切な選択肢です。