中古 BROOKS AUTOMATION Reliance ATR #9019152 を販売中

ID: 9019152
Atmospheric wafer transfer robot 8.4" Single arm Equipped with Keyence AP-31K pressure sensor module Does not include: Power cable Date cables Robot controller Arm extension.
BROOKS AUTOMATION Reliance ATRは、ファブおよびマイクロエレクトロニクスメーカーに信頼性が高く、効率的で柔軟なソリューションを提供する高度なウェハハンドラ技術です。ATRは2段ロボットアームを採用しており、単一のウェハカセットからカセットへの効率的かつ迅速な積み降ろしが可能です。ロボットアームは、ウェーハを含むホルダーをカセットからカセットに急速に移動させ、生産エリアでウェーハを迅速に転送します。ATRロボットアームは、ウェハ配置の精度を確保するために正確な速度プロファイルを備えています。ATRは、さまざまなエンジニアリングおよび製造要件向けに設計されています。堅牢で直感的なユーザーインターフェイスを備えた高度なプログラマブルコントローラを搭載しています。これにより、高度な自動化を維持することに加えて、さまざまなウェーハ処理タスク用にカスタムルーチンを作成できます。このシステムは最大4つのカセット位置を格納するため、ハイスループット製造に最適です。ATRは、最高レベルのパフォーマンスを確保するために、堅牢なベースと信頼性の高いコンポーネントで設計されています。拡張可能なシステムアーキテクチャを提供し、ビジョンシステムやレーザーマーカーなどの周辺機器を統合できます。モジュラー設計は、シングルまたは複数のカセットのロードまたはアンロードをサポートします。このシステムは、最大30WPMの速度でウェーハを転送することができます。ATRには、機械式インターロックや緊急停止ボタンなどのさまざまな安全対策も備えており、安全な動作を保証します。洗練されたコンパクトなデザインは、貴重なスペースを節約しますが、統合されたロボットアームは正確なウェーハ処理を可能にします。これらの機能を組み合わせることで、Reliance ATRはあらゆるマイクロエレクトロニクス生産ラインに理想的なウェハハンドリングソリューションとなります。
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