中古 BROOKS AUTOMATION Reliance ATR #9019144 を販売中

BROOKS AUTOMATION Reliance ATRは、ウェーハの効率的で信頼性の高い処理、処理、転送のための統合された自動化されたソリューションを提供するウェーハハンドリングプラットフォームです。その名前が示すように、それは何十年もの間オートメーションおよび半導体産業のリーダーであったBROOKS AUTOMATIONによって設計され、構築されています。Reliance ATRは、プロセスチャンバ間およびプロセスとストレージの間でウェーハを転送する際の優れたパフォーマンスを提供します。ハイブリッド駆動装置は、ウェーハの正確で低振動を保証し、汚染やウェーハ基板の損傷のリスクを最小限に抑えます。このシステムでは、カセットマッピングを自動化し、混合サイズのカセットから単一および複数のポジションプロセスグリッドにカセットを迅速かつ正確にロードできます。また、複数のサイズのカセットやプロセスグリッドに対応できるように設計されたフィットカートを内蔵しており、ウェハハンドリングの柔軟性を最大限に高めています。BROOKS AUTOMATION Reliance ATRは統合された診断機能も備えており、操作を迅速かつ正確に停止できるほとんどの問題を検出するようにプログラムされています。さらに、カセットマッピングやメンテナンス履歴に簡単にアクセスできるため、パフォーマンス追跡と最適化に役立ちます。Reliance ATRは、ドアロック、ダウレスボタン、安全システムなどの高度な安全機能を備えており、改ざんから保護します。これにより、機械はオペレータを危険な材料や可動部品にさらさないようにし、操作の信頼性も向上します。全体として、BROOKS AUTOMATION Reliance ATRはウェーハの取り扱いと転送のための効率的で信頼性の高いプラットフォームであり、プロセスを最適化し、プロセス中にウェーハが損傷しないようにするための幅広い機能と安全システムを提供しています。ハイブリッドドライブツール、統合された診断機能、メンテナンス履歴へのアクセスの容易さにより、高性能なウェーハ処理が必要なアプリケーションに最適です。