中古 BROOKS AUTOMATION R2D #9301043 を販売中

BROOKS AUTOMATION R2Dは、最も要求の厳しいウェーハ処理環境で最大のスループットと最高品質のパフォーマンスを実現するために設計された、頑丈でロボットウェーハハンドラです。この自動化装置は、ウェーハの正確な位置決めとモーションコントロールを可能にするために、高度なロボット技術を使用して開発されました。ウェーハハンドラR2D、ウェーハハンドリング機能に優れており、ウェーハプロセスツールにウェーハを出し入れする独自の機能を、単一の連続動作で提供します。統合制御システムにより、BROOKS AUTOMATION R2Dウェハハンドラは、ウェハハンドリング機能を実行するようにプログラムすることができます。R2Dウェハハンドラは、直線運動と回転運動の両方において+/-5ミクロンの精度で高精度を提供するように設計されています。この精度は、正確なウェーハアライメントと高収率ウェーハの生産に不可欠です。精密なモーションコントロールに加えて、BROOKS AUTOMATION R2Dは高度なビジョンユニット機能を備えています。光学センサーと高度なビジョンアルゴリズムを使用して、ウェーハの位置、向き、エッジのパターンを正確に特定します。また、オートティーチ機能も組み込まれており、さまざまなウェーハ処理タスクを素早くプログラムして実行できます。R2Dウェーハハンドラは信頼性が高く、使いやすい自動ウェーハ処理ソリューションです。堅牢な構造と幅広いモーションコントロール機能により、標準およびカスタムのウェーハ処理システムの両方に理想的なソリューションです。BROOKS AUTOMATION R2Dは、効率的な操作のための明確な信号を示す直感的なインターフェイスも備えています。柔軟なロボティクスにより、ダイボンド、ウェハトランスファー、リード角度制御など、幅広いウェハハンドリング用途に適しています。R2Dウェハハンドラは、正確さや安全性を損なうことなく、迅速なウェハハンドリングに最適なソリューションです。高レベルのオートメーションにより、速度、精度、再現性が向上します。堅牢な構造と幅広いモーションコントロール機能により、信頼性とコスト効率に優れたウェーハハンドリングソリューションです。