中古 BROOKS AUTOMATION PRE-300/300BU #9206800 を販売中

BROOKS AUTOMATION PRE-300/300BUは、半導体生産環境で使用される高性能ウエハハンドラです。さまざまなプロセスを完了するために、さまざまな半導体ウェーハを効率的に輸送、整列、転送するように設計されています。PRE-300/300BUは、輸送、アライメント、転送プロセスを改善するためのユニークな機能セットを採用した、コンパクトでユーザーフレンドリーなウェハンドラです。このデバイスは、ウェーハの蓄積と転送に電気機械的サーボアライメント装置を使用しており、ウェーハの一貫した正確なアライメントを提供し、搬送前後のウェーハの正確な位置決めを保証します。洗練されたウェーハ認識システムは、ウェーハを配置してリリースする前に、ウェーハの重要な寸法を自動的に検出して測定します。これにより、高い精度が保証され、ユニットがリリースされる前に誤った位置合わせ、破損、または汚染されたウェーハを拒否することができます。PRE-300/300BUハンドラは、負荷インターフェースコンポーネントの平坦性を保証する自動レベリング技術を備えています。これにより、搬送中のウェハレベルを維持し、プロセスの品質に影響を与える振動とノイズを排除できます。このマシンには、工具整合性検証機能も含まれており、アセットが生産プロセス全体で最高のパフォーマンスレベルで動作していることを保証します。これにより、モデルが期待どおりに動作していることを保証する追加のレイヤーが提供されます。このPRE-300/300BUは、最大ウェーハ径600mmの15milから150milまでの幅広いウェーハサイズに対応できます。また、ウェーハバーコードリーダーを内蔵しており、ウェーハの識別が容易になり、プロセス全体で優れたトレーサビリティが得られます。ユーザーフレンドリーなデザインに加えて、PRE-300/300BUにはプロセス担当者の安全性を確保するための包括的な安全機能が付属しています。非常停止機能が内蔵されているため、緊急事態に遭遇したときにすぐにウェハハンドリング装置が停止し、安全筐体が可動部品との偶発的な相互作用を防ぎます。このPRE-300/300BUは、さまざまな生産プロセスにおいて信頼性の高い効率的なウェーハハンドリングソリューションを提供するように設計されています。使いやすさと最適な安全性で、一貫した精密なウェーハ加工を実現します。これは、効率を高め、コストを削減しようとする半導体生産施設にとって理想的な選択肢です。