中古 BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE #9409375 を販売中

BROOKS AUTOMATION PRE-200-CEは、半導体および太陽電池製造業界のニーズに対応するために設計された高度なウェハハンドラです。このモデルは、Vacuum Transport Arm （VTA）とPusher Arm （PA）を備えた完全統合ウエハハンドラで、最大200mmまでの複数のウエハータイプを搬送できます。真空搬送装置により正確なウエハハンドリングが可能であり、高速作動システムにより効率的な動作が可能です。PRE-200-CEは、アルゴリズムを使用して薄いウェーハと厚いウェーハを区別するマイクロプロセッサベースのコントローラを介して高精度と再現性を提供します。PWTS （Pick-and-Place Wafer Transport Unit）により、異なるサイズと厚さのウェーハを正確に整列および転送することができます。また、コントローラはパターニングやスタッキングなどの複数のプロシージャのためにプログラムすることができます。マシンの機能はタッチスクリーンインターフェイスを介して自動化され、セットアップ、操作、メンテナンスが簡素化されます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスには、レシピエディタとレポーティングマシンが統合されており、ユーザーはウェーハ処理手順をカスタマイズできます。このユニットは、最大500mm/秒の転送速度が可能で、最大12Gの最高トランスポートアーム加速度を備えています。また、圧力センサベースの動的スロット認識、統合されたビデオ監視、その他の自動機能も備えています。BROOKS AUTOMATION PRE-200-CEは、非常にきれいな環境で動作し、汚染からウェーハを保護するために完全にシールドされています。信頼性を確保するために、高度なベアリングレスドライブツールを使用し、腐食や摩耗に耐えるように特別に設計された材料で作られています。全体として、PRE-200-CEウェハハンドラは、高精度で再現性のある幅広い半導体および太陽電池製造プロセスに対応できる強力で効率的で信頼性の高いツールです。優れた材料互換性と、汚染に対する堅牢な保護を提供し、最も困難なアプリケーションに最適です。