中古 BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE #9194533 を販売中

BROOKS AUTOMATION PRE-200-CEは、半導体製造アプリケーション向けの自動ウェハハンドラです。自動化された装置は、プロセスチャンバーへのウェーハの正確な移動を可能にするように設計されています。PRE-200-CEは、ロボットと転送ポッド間でウェーハを迅速に交換できるユニークなロードポート設計を特徴としています。この高速転送機能により、製品の迅速な切り替えとバリアレス転送が可能です。BROOKS AUTOMATION PRE-200-CEは、高度なロボット工学、デジタルマイクロコントローラ設計、および使いやすいヒューマンマシンインターフェイス（HMI）で設計されています。これらの機能により、ウェーハの同時ロードとアンロードが可能になり、ウェーハ転送のための正確なモーションコントロールが可能になります。PRE-200-CEは、洗練されたウェーハ管理処理ソフトウェアと統合されており、ウェーハ処理を合理化する幅広い機能を提供します。このソフトウェアは、システムの他のロボットや部品との衝突を防ぎ、ウェーハ処理タスクのプログラミングを可能にし、ユニットの監視と報告を可能にするのに役立ちます。BROOKS AUTOMATION PRE-200-CEの中核は、高いスループットと信頼性を実現するロボットコントローラです。このコントローラは、高度なリアルタイムオペレーティングマシンを備えており、迅速かつ正確なウェーハ転送のための繰り返しのモーションコントロールを可能にします。コントローラはまた、ツールのリモート監視のための高度な診断、エラー処理、およびネットワーク接続を提供します。PRE-200-CEロボットウェーハハンドラは、コンパクトなフォームファクタとクリーンルームの使用に最適な小さなフットプリントで設計されています。また、製造プロセスの変化する要件を満たす調整可能なサイズを備えています。このロボットウェーハハンドラは、熱処理リアクタ、インライン検査システム、サポートシステムなどの他の機器と容易に統合できます。全体として、BROOKS AUTOMATION PRE-200-CEは、さまざまなアプリケーションに信頼性と再現性の高いモーションコントロールを提供する高性能ウェーハハンドリングソリューションです。堅牢な構造と高スループット機能により、大量の半導体製造アプリケーションに最適なソリューションです。直感的で使いやすいHMIと高度なソフトウェア機能を備えたPRE-200-CEロボットウェーハハンドラは、自動ウェーハハンドリングプロセスに最適です。