中古 BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5 #9160292 を販売中

ID: 9160292
Atmospheric vacuum handling robot.
BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5は、半導体製造プロセスで使用する高精度ウェハハンドラです。クリーンルーム環境間でウェーハを移動、整列、安全に転送するように設計されています。長さ・幅75mm、厚さ0。5 mmまでの小さなウエハサイズに最適です。自動化されたウェーハハンドラは、幅広いカセット、転送、輸送メカニズムに対応する柔軟性を提供するモジュラー設計を備えています。MULTITRAN 5には、Pentiumプロセッサによって制御される内蔵の多機能ロボットが搭載されています。プロセッサは高速処理が可能で、ロボットの動きをプログラミングおよび制御するためのオプションを提供します。プログラミングとナビゲーションを容易にする直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。ロボットはまた、速度と位置フィードバックを統合した可変速度モーター制御システムを備えています。これにより、動的な処理環境でも正確で正確なウェーハ転送が可能になります。BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5は、耐食性のためのステンレス鋼で構成され、静電放電(ESD)保護されています。これは、高繰り返し使用のために設計されており、従来の手動ハンドリング設定よりも高い信頼性とパフォーマンスを提供します。自動化されたウェーハハンドラには、処理中にウェーハが損傷を受けないようにするさまざまな安全機能が含まれています。また、ほこりのない処理を可能にする防塵システムを内蔵しています。さらに、ソフトウェアには、ユーザーがカスタマイズして操作できる多くの安全プロトコルが含まれています。特徴に加えて、MULTITRAN 5は付加的な付属品の範囲を含んでいます。キャリブレーション治具、アダプターカセット、トランスファープレート、連動スイッチブラケット、トランスファートレース、ジャンクションボックス、リミットスイッチなどがあります。ウェーハスプリング、減衰システム、リングルクレードルなど、ウェーハの損傷を防ぐためにさまざまな安全アイテムを購入することもできます。BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5は、リニアレールや業界標準のインターロックなど、さまざまな外部部品とも互換性があります。全体として、MULTITRAN 5は半導体製造プロセスに最適な信頼性の高い機能豊富なウェハハンドラです。ダイナミックな環境でも、正確で安全なウェーハ転送を可能にする高度なプログラミング機能とモーション機能を提供します。さまざまな安全機能とほこりのない処理環境を提供することで、高品質な結果を保証します。また、さまざまなアクセサリーや外付け部品に支えられており、柔軟性と適応性をさらに高めています。
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