中古 BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5 #197759 を販売中

BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5は、最も要求の厳しい半導体ファブの要件を満たすように設計された高性能ウエハハンドラです。これは完全に自動化されたSECS/GEM準拠の機器で、マニュアルハンドラにかかる時間のほんの一部で200mmおよび300mmウェーハの信頼性の高い配送と取り扱いを提供します。高精度で再現性に優れたMULTITRAN 5は、高スループットの生産環境での動作が可能です。BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5は、ブラシレスDCサーボモータと精密ボールねじ駆動を内蔵し、再現性と正確な位置決めを備えた高解像度のリニアモーションを提供します。強力なRFIDベースのウェーハ入出力機能により、各ウェーハのアイデンティティを追跡し、製造プロセス全体の経路を監視することができます。このユニットは、特に、複数のロードスポート、カセット、フロントエンドストッカ、ツール/プローブサイト、および計測デバイス間の効率的なウェーハ転送用に設計されています。その伸縮合金トラックと独立した電動トレイのペアを使用して、マシンは、その動作領域内の任意のポイントのためのウェーハをピックアップ/配信することができます。MULTITRAN 5は、ウェーハ配送用カセットインターフェイスの複数バンク、ゲートコントロール用のロボットアームインターフェイス、リモートIO、追加トレイなど、さまざまなオプション機能を備えた高度な拡張性を提供します。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、簡単なデータ入力、リアルタイム診断、適切なツール設定が可能です。また、柔軟なモーションコントロールアセットにより、製造環境への容易な統合が可能となり、同一モデル内で複数のウエハを同時に操作することができます。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供し、機器のセットアップを迅速に行うことができ、アプリケーション固有のニーズに合わせてシステムを構成するための幅広いオプションが含まれています。BROOKS AUTOMATION MULTITRAN 5は、過酷なファブ環境での動作のために設計されており、最低限のメンテナンスで信頼性と長い運用寿命を保証します。特許取得済みのキャリアレス設計により、カセットやキャリアの変形に伴う懸念を排除し、繊細なウェーハへのストレスを軽減します。その堅牢な構造は、長寿命とメンテナンスと修理の必要性を保証します。