中古 BROOKS AUTOMATION MTX 4000 #9194301 を販売中

BROOKS AUTOMATION MTX 4000 Wafer Handlerは、半導体ウェーハを移動させ、加工ツールに正確に配置するように設計された自動ウェーハ処理装置です。ウェハトランスポート、ウェハローディング、テストウェハハンドリング、コーティングおよびシール解除、プロービング、ダイ・ピック・アンド・プレイスなどの用途に適しています。MTX 4000には高度なセンサーとマニピュレータが搭載されており、ウェーハを正確に搬送して加工ツールに配置するだけでなく、ウェーハ形状を評価して品質を保証します。ウェーハマニピュレータはウェーハを作動させるように設計されていますが、グリップ力とウェーハ位置は同期して制御されます。BROOKS AUTOMATION MTX 4000は、PLCベースのロジックコントロールシステムを搭載しており、ウェーハが経路に沿って移動する際にウェーハの位置を恒久的に監視および制御します。このユニットは、ウェーハの温度と位置の精度調整を行うために使用されます。コントロールマシンには、圧力が均一で、ツール全体で一貫していることを確認するためのデュアル冗長エアバルブもあります。MTX 4000には、調整可能な緊急シャットオフバルブやフルアセットのインターロックなど、いくつかの安全機能も含まれています。BROOKS AUTOMATION MTX 4000には、モデルを統合するために、関連する他のハードウェアやソフトウェアとインタフェースする機能もあります。これには、FOUPハンドリングメカニズム、ロードポート、カセットマニピュレータの使用が含まれます。OEMインターフェースボードは、MTX 4000と他のシステムとの接続を提供し、ユーザーはウェーハレシピ、座標信号、および他の制御信号の送受信などのデータを送信することができます。BROOKS AUTOMATION MTX 4000には、カラータッチスクリーン端末、マルチレベルパスワード保護、および複数の言語サポートなど、いくつかの追加機能が付属しています。また、内蔵のエアフィルター、圧力トランスデューサ、熱監視などの機能を活用した環境モニタリングにも対応しています。MTX 4000は、異なるサイズのウェーハ用に構成およびカスタマイズすることができ、機器は手動または自動化されたモードで動作することができます。全体として、BROOKS AUTOMATION MTX 4000ウェーハハンドラーは、精度と安全性を確保するための高度なセンサーと制御システムを備えた効率的で信頼性の高いウェーハハンドリングシステムです。幅広い機能、柔軟性、統合機能により、半導体業界のウェーハ処理アプリケーションに最適です。