中古 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #9203435 を販売中
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BROOKS AUTOMATION MTX 2000は、半導体製造、計測、半導体試験などのアプリケーション向けの高精度ウェハハンドラです。MTX 2000は、独自の3軸ファインモーション制御装置を採用し、温度制御チャンバーに配置されたウェーハに優れた精度と再現性を提供します。BROOKS AUTOMATION MTX 2000のファインモーション制御システムは、ウェーハのX-Y-Z位置を制御する3つのリニアモータで構成されています。3つのリニアエンコーダは、ウェハの正確な位置を測定して記録します。この複雑なユニットは、シングルミクロンのウェーハ配置精度を可能にし、MTX 2000ウェーハ転送動作間の再現性を保証します。BROOKS AUTOMATION MTX 2000は、4ミクロン以下の精度でウェハローディング/アンロード、転送、アライニングが可能です。大容量ロボット真空グリッパーにより、直径6〜12インチのウェハの正確な取り扱いと搬送が容易になります。さらに、自動ウェハマッピング機能により、マルチポジションのウェハトランスファーのカスタムプログラミングが簡素化されます。MTX 2000のオンボードコンピュータマシンは、グラフィカルユーザーインターフェイスを使用して、すべてのウェーハ転送操作を調整します。BROOKS AUTOMATION MTX 2000のプログラミングソフトウェアは、ウェーハの搬送速度と精度を最適化するために、ツールの搬送パラメータを調整することができます。ウェハローディング/アンロード資産は、真空ベースのウェハカセット電源、真空ベースのZ軸リフト、およびコンベヤーベルト機構で構成されています。ウェハカセット電源は、汚染のないウェハ搬送を確実にするため、窒素ガスと特殊な設計を使用して汚染物質をろ過します。標準モデルに加えて、MTX 2000はクラス1のクリーンルーム構成で追加の清潔度と滅菌性を必要とするアプリケーションに対応しています。BROOKS AUTOMATION MTX 2000は、さまざまな温度制御、湿度制御、および大気圧力制御機能を提供し、ウェーハの処理および処理に理想的な環境を確保します。実用温度は-40°Cから300°Cまで及び、± 1°C内の正確さを維持します。MTX 2000の統合運用により、幅広い業界やアプリケーションに最適なソリューションとなります。
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