中古 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #9194300 を販売中

BROOKS AUTOMATION MTX 2000は、半導体製造やマテリアルハンドリングなど、さまざまな業界で使用するために設計された高性能ロボットウェーハハンドラです。本装置は、ベア、エッチング、コーティングウエハなど、さまざまなウエハータイプを取り扱うことができます。MTX 2000は、ピックアンドプレースオペレーションと、ウェーハの手動ロードとアンロードの両方が可能です。これは、統合された高速ロボットアーム、直感的なユーザーインターフェイス、および異なるアプリケーションのためのマシンの迅速かつ簡単なプログラミングを可能にするオンボードマイクロコントローラを備えています。BROOKS AUTOMATION MTX 2000は、高いスループット、正確性、柔軟性を実現するように設計されています。DCブラシレスサーボモータを使用してロボットアームに電力を供給します。これにより、アームを高速かつ正確に動かすことができます。統合されたユーザーインターフェイスは単位および操作の状態の容易なプログラミングおよび監視を可能にします。また、PIDコントローラを内蔵しており、ロボットアームの精密位置決めや、工具の滑らかな加速と減速を行うことができます。アセットを出入りするウェーハは、ゲートモデルによって制御されます。このゲート装置は、ウェーハの流れを制御し、負荷ポートの汚染によるクロス汚染を防止することができます。さらに、システムは、異なるサイズのウェーハを受け入れ、2つの異なるサイズのウェーハを同時に処理するように構成することができます。統合された真空ユニットは、1つのプロセスステップから次のプロセスにウェーハをピックアップして移動するためにも使用できます。このマシンはまた、適切な動作を保証するために、さまざまな安全機能を備えています。工具の状態や操作を監視するオンボードコンピュータを搭載し、オペレータが存在しなくても操作が可能です。さらに、この資産には一連の機械的および電気的インターロックがあり、モデルの誤動作の結果として危険な状況が発生するのを防ぎます。最後に、MTX 2000は、プログラミングと制御の面で柔軟性の範囲を提供する電子制御装置を備えています。このシステムは、ウェーハチャンキング、ウェーハブレーキング、ウェーハソートなど、さまざまなアプリケーションのマシンを構成するために使用できます。さらに、ユニットは、ユーザーが操作の特定の要件にそのパフォーマンスをカスタマイズすることができます。