中古 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #293663057 を販売中

BROOKS® AUTOMATION BROOKS AUTOMATION MTX 2000は、高度な半導体処理のための完全自動ウェーハハンドリングソリューションです。ゼロディフェクトウェーハの転送と位置決め精度を提供し、50mmから200mmまでのウェーハを処理でき、パレット化されたカセットとインライン転送装置で最大8200個のウェーハをサポートします。その統合されたロボティクスとコンベアシステムは、正確なウェーハ処理と処理のための最も厳しい顧客固有の要件を満たすように構築されています。MTX 2000は、高度なモーションコントロールテクノロジーとモジュラーユニットトポロジーを活用した自動ウェーハハンドリングソリューションです。全電動サーボと油圧を備えていないため、スムーズで正確なウェーハ搬送が可能であり、ウェーハのスループットを最大化します。また、非常に洗練された干渉のない安全装置を備えており、高いスループットレートと厳密に制御されたウェーハの転送と位置決め精度を維持しながら、ツールの安全な動作を保証します。このアセットは、より高速な処理速度と複数のウェーハ配置の可能性を備え、柔軟性と信頼性を提供します。また、チャンバからチャンバのアンビエントウエハ転送をサポートし、高いスループット密度を提供します。さらに、高度なメンテナンス機能により、最大の稼働時間とリソースを確保し、予防メンテナンスのためのコストのかかるダウンタイムを削減できます。また、複数のロボットやツールを迅速かつ簡単に交換できる多目的ツールチェンジャーも備えています。BROOKS AUTOMATION MTX 2000自動ウェーハハンドリングソリューションは、さまざまな機器、ベーキングプレート、ローディングアームと統合され、お客様の正確なプロセス要件に合わせてオーダーメイドすることができます。それはオートメーションおよび制御の異なったレベルの範囲を提供するいろいろな版で利用できます。また、このモデルは高度に構成可能でアップグレード可能であり、将来的な拡張性とコスト効率を実現します。最後に、MTX 2000装置は有名なBROOKS AUTOMATIONサービスおよびサポートチームによって支えられ、高度なエンジニアリングと製造能力に裏打ちされた数十年の専門知識と信頼できるサービスを提供します。