中古 BROOKS AUTOMATION MTX 2000 #293600562 を販売中

BROOKS AUTOMATION MTX 2000は、今日の半導体加工環境の厳しいニーズに対応する優れた生産性と性能を提供する、最高のロボットウェハハンドラです。MTX 2000は、最小ダウンタイムで中径から大径のウェーハ径に対応できるように設計されており、最適な歩留まりと最大限のコスト削減を実現します。BROOKS AUTOMATION MTX 2000は、車載診断およびプログラミングシステムとともに冗長軸付きの高度で高速なウェーハ処理装置です。トップローダー設計により、ウェーハキャリアの高速で正確なローディングとアンロードが可能です。また、ロードポート間で部品をフレキシブルに交換して素早くセットアップを変更できます。高度なロボットアクチュエータ、リニアモータドライブ、およびよりスマートなソフトウェアコントロールユニットは、事実上非ダウンタイムウェーハ処理を提供します。このマシンは、ウェーハモーションサブシステム、ウェーハバッファリングサブシステム、ウェーハトランスファーサブシステムの3つのサブシステムで構成されています。ウェーハモーションサブシステムは、X、 Y、 Z軸に沿ってウェーハを移動します。ウェーハバッファーサブシステムは、所望の転送順序に基づいてウェーハの優先リストを格納します。ウェハトランスファーサブシステムは、デリバリーサイトとレスポンスサイトの間で水平にウェーハをシャトルします。MTX 2000は、さまざまなサイズと重量のスレッド、デスレッド、アライン、ブローカー、転送およびリタップウェーハを正確に設計されています。また、ウェーハをツールに入力したのと同じ順序で素早く見つけてインデックス化します。この資産には、安全とセキュリティに不可欠なアンチパターン、インターロック、エストップ機能が装備されています。BROOKS AUTOMATION MTX 2000は、高度な濾過モデルにより、粒子生成の低減も可能です。Brooks's Automation MTX 2000は、ユーザーの特定のニーズに合わせてカスタマイズできる信頼性の高いウェハハンドラです。これは、最大歩留まり、コスト削減、および優れたパフォーマンスを提供することにより、超高域の環境に最適なソリューションです。