中古 BROOKS AUTOMATION MTR-5 #9012382 を販売中

BROOKS AUTOMATION MTR-5は、自動化されたウェーハの輸送と処理のために設計された洗練されたウェーハハンドラです。ウェーハ処理室の中でウェーハを移動・配向するロボットコントロールユニットです。ウェーハを回転させ、ピックして配置し、ウェーハ処理チャンバとストレージモジュールまたはロードロックモジュールの間で輸送するようにプログラムすることができます。BROOKS AUTOMATION MTR5は、複数のウェーハハンドリングプラットフォームと互換性があり、幅広いウェーハ処理要件に適しています。MTR 5は、最大35cmの垂直範囲を持ち、ウエハハンドリングアセンブリに5つのウエハを保持することができます。ロボットマニピュレータの速度は調整可能であり、ローディングゾーンとアンローディングゾーンにウェーハを正確に配置することができます。単位はまた指定X、 YおよびZの位置に正確にウェーハを動かすことができます。MTR5にはスマートバキュームタイプのモジュールも搭載されており、オーバーハンドリングによるウェーハの破損を防ぎます。BROOKS AUTOMATION MTR 5には、傷や損傷を引き起こすことなく、ウェーハを優しく拾うことができる高速引き込み式真空ノズルが装備されています。ウェハハンドリング装置は、小規模および大量生産の両方の要件を満たすように構築されています。ロボットマニピュレータは、正確なウェーハ位置決めのための高精度な位置決めシステムを備えています。また、ユニットとその部品を保護するためのモーションセンシング安全機構など、複数の安全機能を備えています。MTR-5はまた、柔軟なプログラミングと個別操作を可能にするオンボードPLC制御ユニットを備えています。また、複数の操作を並列に実行することもできます。PLCには、使いやすいタッチスクリーンユーザーインターフェイスが含まれており、ウェーハの取り扱いと監視が容易です。また、外部オートメーションシステムやその他のデバイスに接続するためのリモートI/Oポートも備えています。BROOKS AUTOMATION MTR-5は、スムーズで信頼性の高いウェハピッキングと配置操作を提供するように設計されています。ソート、スタッキング、ステンシル、エッチング、ディップコーティングなど、さまざまな作業にも使用できます。ロボットマニピュレータは、最高品質のコンポーネントで作られており、1年間の保証が付属しています。BROOKS AUTOMATION MTR5は、ウェハハンドリング作業の効率的なソリューションを提供します。