中古 BROOKS AUTOMATION MPO-1000 #9279872 を販売中

BROOKS AUTOMATION MPO-1000は、半導体業界で使用するために設計された高精度で強力なウェハハンドラです。ピンポイントの精度でロボットアームを動かすことができ、大量のウェハからカセットに正確にダイを移動させることができます。このウェハハンドラは、25mmから200mmまでのウェハサイズで動作し、カセット内のダイの位置を迅速かつ正確に検出できるフルビジョン機能を備えています。MPO-1000は6軸ロボットアームを使用しており、ウェーハやダイをソースから目的地に輸送したり、必要な方向に回転させたりすることができます。また、多種多様なアクチュエータ、マスフローコントローラ、調整可能なツーリングなどの機能を備えています。これにより、さまざまなウェハハンドラアプリケーションで効率的かつ正確に動作することができます。BROOKS AUTOMATION MPO-1000は、インラインとバッチプロセスの両方で動作することができます。つまり、1つのダイをソースから目的地に移動させるか、多くのダイをカセットからロットに移動させることができます。これは大容量アプリケーションに最適です。このウエハハンドラには、ダイの流れを制御する真空システム、LVDTや静電容量センサなどの特殊なセンサを搭載し、ダイの移動時の精度を向上させます。MPO-1000は、静かで堅牢で信頼性の高いウェハハンドラです。極端な温度や振動に耐え、長寿命です。さらに、ウエハハンドリングプロセスの進捗状況をモニタリングするための各種モニタリングシステムを搭載しています。全体として、BROOKS AUTOMATION MPO-1000は強力で信頼性が高く、精密なウェーハハンドラであり、さまざまな用途で半導体業界のニーズを満たすことができます。その多種多様な機能により、ソースから宛先に確実にダイを転送することができ、診断システムによりユーザーはウェーハ処理プロセスを監視することができます。