中古 BROOKS AUTOMATION Magnatron 7 #9373246 を販売中

BROOKS AUTOMATION Magnatron 7は、最新の半導体加工のために設計された、完全に自動化された多機能ウェーハ処理装置です。ピックアンドプレイス、アライメント、ショットブラスト、測定、検査を高精度で行うことができるロボットアームを備えています。このロボットアームは、最大のプロセス結果をウェーハに向ける、カセットのロードとアンロード、パラメータを測定して異常を検出するプロービングウェーハ、ツール間でウェーハを転送するなど、さまざまな種類のタスクにプログラムできます。ロボットアームは6軸の動きで、3次元ウェハローディング空間の任意の点に到達できます。また、パルス幅変調（PWM）エンコーダフィードバックループに基づいたソフトウェア制御モーションコントロールも使用します。フィードバックループにより、ロボットアームは非常に安定した反復可能な動きを維持できます。BROOKS AUTOMATION MAGNATRON7はまた、ロボットが非常に高速な応答時間を達成するのを助ける高解像度のサーボユニットを備えており、ロボットが複雑な軌跡を正確に追跡し、高速でウェーハを向けることができます。また、加熱ウェハの位置と向きを検出して高速処理を実現するサーマルイメージングカメラも搭載しています。ウエハハンドリングツールは、タッチスクリーン上に直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えているため、アセットのプログラム、構成、操作が簡単です。このモデルは、スタンドアロン動作またはより大きな半導体処理装置への統合のために構成することができます。Magnatron 7はまた、システムの定期的な自己検査を可能にする自己診断、安全インターロックが従事しているときにロボットの意図しない動きを防ぐ安全インターロックユニット、およびマシンのパフォーマンスを監視、制御、記録するために使用できるローカルエリアネットワーク（LAN）に接続された独立したコントローラなどの機能を備えています。MAGNATRON7は、迅速な応答時間と精度、柔軟性、簡単なユーザーインターフェースにより、半導体加工に最適です。既存の機器と統合する機能を備えており、ウェーハを迅速かつ正確に操作および処理できます。それはあらゆる半導体の処理の条件のための信頼でき、費用効果が大きい解決です。