中古 BROOKS AUTOMATION Magnatron 7 #293666637 を販売中

BROOKS AUTOMATION Magnatron 7
ID: 293666637
Robot Z-Drive: 35 mm.
BROOKS AUTOMATION Magnatron 7は、半導体およびMEMS製造プロセスの堅牢な制御と自動化を提供するように設計された高度なウェハハンドラです。BROOKS AUTOMATION MAGNATRON7は、高度なモーションコントロール技術を使用して、HVMおよび研究開発(R&D)製造プロセス中にウェーハを正確に移動および位置決めします。Magnatron 7は、高精度のモーションコントロール、直感的なHMI、スケーラブルなアーキテクチャ、プロセス中心のソフトウェアを組み合わせた完全統合型の機器で、簡単な設定と制御が可能です。MAGNATRON7の精密モーションコントロールは、0。1 μ mの解像度を持つ2つの独立した400mm GBBAリニアモータに基づいています。これらのモータは、ハンドリングシステム全体にわたってウェーハ搬送スレッドを正確に移動させ、モーションコントロールアルゴリズムにより、スムーズな動きを提供し、正確で反復可能な動きを保証します。モーションユニットは、独自の速度と加速制御、およびさまざまな位置センサでさらに拡張されています。BROOKS AUTOMATION Magnatron 7には、最適なユーザーエクスペリエンスを提供するために特別に設計された直感的なHMIも含まれています。HMIには、グラフィカルユーザーインターフェイス、レシピコントロールや製品データベースなどの組み込みツール、カスタムウェハハンドリングシーケンスを作成するための広範なツールセットが含まれています。BROOKS AUTOMATION MAGNATRON7は、既存のほとんどのダイレクトドライブステージ操作システムとのインタフェースも可能で、お客様は既存のマシンコンポーネントに接続することができます。Magnatron 7の堅牢でスケーラブルなアーキテクチャにより、アプリケーション要件に応じて製品をカスタマイズできます。MAGNATRON7構成可能な機能には、搬送スレッドの総数、ウェハオリエンテーション、ウェハサイズ、ウェハハンドリング速度、およびロボット制御が含まれます。このツールは、プロセス中心のソフトウェアパッケージもサポートしているため、お客様はさまざまな製品タイプや生産プロセスのパラメータを迅速に構成および変更できます。TheMagnatron 7は、技術、柔軟性、拡張性を兼ね備えているため、HVMおよびR&D製造プロセスに最適です。BROOKS AUTOMATION Magnatron 7は、堅牢なモーションコントロール、直感的なHMI、スケーラブルなアーキテクチャ、およびプロセス中心のソフトウェアを備えており、幅広いウエハハンドリングのニーズに応えます。
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