中古 BROOKS AUTOMATİON Magnatran #9411372 を販売中

ブルックスオートマグナトランは、半導体業界のさまざまなプロセス環境に適した自動ウェハハンドラです。ウェーハの動きを体系的かつ効率的に自動化し、安全で信頼性の高いプロセスをウェーハ操作に提供します。マグナトランは、精度、精度、再現性を念頭に置いて設計されています。Canto-Vacuum Motion Systemを使用して、コマンド実行中にあらゆる構成のウェーハを360度全回転で正確に移動させます。Canto-Vacuum Motion Systemには、真空トラックとメカニカルアームという2つの別々のコンポーネントが組み込まれており、25mmから300mmのウェハサイズの正確な取り扱いを自動化しています。真空トラックは、ウェーハの位置を確実に配置し、所望のウェーハ位置を維持しながら、メカニカルアームはウェーハの位置、つかみ、搬送、放出を行うことができます。さらに、ブルックスオートマグナトランは、ウェハ操作前にウェハIDをスキャンするためのウェハカメラも備えています。Magnatranは、プログラミングと操作にグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を使用しています。GUIを使用すると、真空トラックの周りのウェーハ移動の正確な位置とパスを定義できます。また、Canto-Vacuum Motion Systemの動きをプログラムし、補助コンポーネントを選択することもできます。さらに、GUIは、個々のウェーハ操作の進行に関するユーザーへのフィードバックも提供します。ブルックスオートマグナトランは、プロセス機器全体で自律的にウェーハを転送できる信頼性の高いウェーハハンドラです。これにより、ウェーハ処理プロセスを合理化するとともに、作業を効率的かつ迅速に実行できます。Magnatranは、処理のダウンタイムを最小限に抑え、ウェーハの混乱を最小限に抑え、スループットを向上させるように設計されています。さらに、その様々な機能と機能により、製品の一貫性と品質を保証し、業界のニーズを満たすための柔軟性を提供します。