中古 BROOKS AUTOMATİON Magnatran #9286077 を販売中

ブルックスオートマグナトランは、クリーンルーム環境での処理ステップ間の自動ウェーハ転送を実現するように設計された自動ウェーハハンドラです。この機械は、クリーンルーム環境内で安全に移動して配置するために、手動で入力することなく、複数のウエハを自動的に処理する動作装置を備えています。Magnatranはステンレス鋼から成り、25mmから300mmに多くの標準的なウエハを扱うように設計されています。4軸モーションシステムを採用しており、最大3つのウェーハを同時に操作および整列することができます。ウェーハを調整してロックするためのクランプと、安全な環境を提供するためのマルチレベル保護コントロールユニットを内蔵しています。さらに、ウェーハを2方向に動かすことができ、ユーザーはウェーハを素早く効率的に動かすことができます。BROOKSオートマグナトランは、光ファイバー長方形のキャビニングで構築されたオプションのスキャンデバイスを提供しているため、ユーザーはウェハ操作プロセスを監視できます。また、温度安定性、空中汚染制御、イオン化のためのクラス1000のクリーンルーム要件を満たしており、転送全体に損傷を与えることなく一貫したウェーハ製品品質を保証します。モーションコントロール機能を超えて、Magnatranはモーションローディングプロセスとウェーハローディングプロセスから有意義なデータを提供できます。これには、プログラム可能なモーションスピード、加速度、減速、ジャーク制限設定などの機能が含まれています。データストレージ容量により、ウェハハンドラは複数のウェハハンドルを同時または正確なタイミング制御で実行するようにプログラムすることができます。また、ウェーハの積み降ろしプロセスや、その他のウェーハ関連機能の制御も可能です。メンテナンスには、自己診断、潤滑、サービス担当者がウェハハンドラを使用しながらサービス活動を行う「ホットスワップ」機能など、さまざまなサービス機能が含まれています。それはより速い修理を可能にするために調節可能な予備品への容易なアクセス、また無許可のユーザーが変更をすることを防ぐために改ざんの証拠ロックを提供します。Magnatranは、安全で便利な方法でウェーハを転送するための信頼性が高く、安全で効率的な方法を提供するように設計されています。工業グレードのデザイン、複数のウェーハ処理能力、カスタマイズ可能なモーションコントロールを備えたBROOKSオートマグナトランは、あらゆるクリーンルーム用途に最適な自動ウェーハハンドラです。