中古 BROOKS AUTOMATION Magnatran MAG7 #9167827 を販売中

BROOKS AUTOMATION Magnatran MAG7は、ファクトリーオートメーションとプロセス統合用に設計された半導体ウェハハンドラです。このMAG7は、カセットからカセット、自動化されたウェハローディング、徹底した真空検証、正確なウェハ配置、安全なウェハコンテナまで、均一で信頼性の高いウェハハンドリングを提供するように設計されています。MAG7はロボットアームを3軸で操作し、幅広い操作性を実現しています。アームは固定アームスタンチオンに接続されており、安全な基礎を提供しながらアームを「Z」方向に動かすことができます。腕の基盤にまた人間工学的操作のための腕を下げるか、または上げる調節可能な縦の上昇があります。このMAG7は、直感的なメニュー駆動のタッチパネルインターフェイスを備えており、ウェーハクックブックとレシピプログラムを作成して保存することができます。これにより、ウェハの負荷を最小限の労力でステーション間で簡単に移動できます。タッチパネルはまた、ウェーハ配置プログラムを作成および保存する機能を提供し、ウェーハレシピを構成する際の柔軟性を提供します。さらに信頼性を高めるために、自動化されたウェーハローディングシステムにより、適切なウェーハ配置と向きが保証されます。MAG7は、ウェーハスロットの完全性を検証し、最小限のオペレータ介入を必要とするインライン真空検証システムを使用しています。プロセス統合を最大化するために、MAG7は様々なタイプのカセットやFOUPを含む複数のウェーハキャリアと互換性があるように設計されています。また、ウェーハの動きやクリーニングを必要とするリソグラフィやエッチングなどのあらゆるプロセス機器と統合することもできます。各MAG7はクラス100-300の環境の容易なクリーニングを可能にする高級なアルミニウムから組み立てられます。MAG7はまた、動作中に電力が失われた場合の動的保護監視サポートを高度化しています。Magnatran MAG7は、半導体および高度なウェーハ処理アプリケーションに優れた性能と価値を提供します。信頼性が高くユーザーフレンドリーな設計により、自動化されたウェーハ処理および処理システムにスムーズに統合できます。直感的なタッチパネル、汎用性の高いウェーハキャリア機能、高度なエラー防止機能を備えたこのMAG7は、最も信頼性の高いウェーハハンドリングソリューションの1つです。