中古 BROOKS AUTOMATİON Magnatran 7 #9261755 を販売中

ブルックスオートマチックMagnatran 7は、半導体ウェーハ処理の完全な自動化と制御を提供する高度なウェーハハンドラです。この装置は、ウェーハ輸送の効率的な管理と、1つのプロセスから次のプロセスへの転送中のウェーハの測定、保管、追跡を提供します。このシステムの大きな利点は、ウェーハの動きを監視し、高精度を確保することです。Magnatran 7は最先端のビジョンシステムと高度なイメージベース制御を備えています。この技術により、ウェーハの画像を撮影し、5ミクロンの精度で正確な位置を追跡することができます。これにより、プロセス工程間でウェーハを転送する際の最大限の制御と精度が得られます。さらに、このマシンは自動ウェーハ識別ツールを提供します。このアセットは、ウェーハバーコードラベルを読み取り、転送ごとに適切なウェーハタイプを割り当て、プロセス中にウェーハが常に正しく処理されるようにします。ブルックスオートマチックマグナトラン7は、さまざまなウエハサイズや基板にも対応可能です。それは追加のハードウェアや部品なしで100mmと300mmの間のウェーハを処理することができます。さらに、熱プロセスや物理プロセスなど、さまざまなプロセスに対応することができます。このモデルは、レイヤーの厚さ、クリティカルな寸法、フィーチャーサイズ、フィーチャープロファイルなど、重要なウェーハ特性を測定して保存することができます。これにより、ウェーハはプロセス全体を通して均一な品質を維持することができます。自動化された機能に加えて、Magnatran 7には高度な安全機能も装備されています。ウェーハ破損検出器が含まれており、切断または破断した場合にすぐにプロセス担当者に通知します。これにより、転送またはプロセスに失敗するリスクが劇的に減少します。全体として、ブルックスオートマグナトラン7は、ウェーハ処理の厳しい要件を満たす高度なウェーハ処理機能を提供します。精密制御、自動識別・計測システム、高度な安全機能を組み合わせることで、スムーズで効率的なウェーハ加工を実現します。