中古 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 #9082680 を販売中

BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 （MT7）は、生産スループットと歩留まりを最大化するように設計された、高性能で自動化されたウェーハハンドリングプラットフォームです。拡張されたウェブ深度とフィールド交換可能なウェハハンドリング技術を提供します。これは、プロセスの柔軟性を提供しながら、深部処理システムに迅速かつ正確にウェーハを移動するように設計されています。この装置は、同社の特許取得済みの「Magnatran」技術に基づいており、ロボットウェーハ処理のための包括的なソリューションです。この技術は、ロボットモーション、ウェブジオメトリ、光学制御システムの組み合わせを使用して、システムを介してウェーハの動きを追跡します。MT7は、ベースフレーム、ロボットアーム、ウェハハンドリングカルーセル、リニアモータ（ウェハハンドリングカルーセルの移動用）、光学ウェハ検出、ウェハハンドリングウィンドウ、タッチスクリーンインターフェイスで構成されています。MT7のベースフレームは、ユニットの他のコンポーネントの機械的サポートを提供します。複数のジョイントで構成されるロボットアームは、カルーセルの周りのウェーハの操作を担当します。カルーセルは、ウェーハが休むいくつかの棚で構成されています。リニアモーターは、カルーセルの動きを片方の端からもう一方の端まで制御および駆動するために使用されます。3相永久磁石ダイレクトドライブリニアモータを搭載し、最大2mの移動範囲を備えています。このモーターはカルーセルがウェーハのローディングおよび荷を下す区域のような機械のさまざまな区域の間で移動することを可能にします。カルーセル内にある光学ウェーハ検出ツールは、ウェーハの進捗状況をモニタリングし、資産内を移動する際のフィードバックを提供します。これは、光源とカメラを使用して実現されます。MT7は、カルーセルからウェーハを積み降ろすための高度に専門化された装置であるウェーハハンドリングウィンドウを備えています。自動化された湾曲したデザインが特徴で、カルーセルからウェーハを引っ張り、必要な目的地に渡す真空を作り出します。最後に、MT7にはタッチスクリーンユーザーインターフェイスもあります。これにより、ユーザーは直感的で使いやすいプラットフォームを提供し、モデルのさまざまな機能にアクセスして制御することができます。Magnatran 7は効率的で信頼性の高いウェーハ輸送手段を提供します。柔軟性、拡張性、幅広い機能を備えており、幅広いウエハ加工機器に対応できます。この装置は、プロセスのさまざまな段階を通じてウェーハが迅速かつ正確に移動するように設計されており、スループットと歩留まりも最大化されています。