中古 BROOKS AUTOMATİON Magnatran 7 #293809901 を販売中

BROOKS AUTOMATION ATR-8 Wafer Handlerは、大面積ウェーハおよび基板の効率的で正確で信頼性の高い処理を容易にするように設計された高性能でフル機能のオートメーションシステムです。独自の真空コンベアシステムを搭載し、最大8インチの直径ウェーハ、または12インチの直径ウェーハを4つ搭載することで、従来の未梱包ウェーハを迅速に交換することができます。BROOKS AUTOMATION ATR8のモジュール設計により、真空トランスポートモジュール、コントローラインターフェースモジュール、ロボット真空トランスポートモジュール、モーションコントロールモジュールの4つの標準サブシステムを構成できます。各モジュールは、他のモジュールとの接続を処理および/または行うことができます。Vacuum Transport Moduleは、複数のウェーハを一度にピックアップしてController Interface Module上に配置し、さらなる処理を行うように設計されています。Controller Interface Moduleには、ロボットと真空ステージを制御するためにオペレータがプログラムできる専用の電子機器が含まれています。また、他のモジュールへのインタフェースとしても機能し、各モジュールへの指示を中継し、必要に応じて真空トランスポートモジュールに戻します。Robot Vacuum Transport Moduleは、専用のサーボ駆動装置で、真空トランスポートモジュールからモーションコントロールモジュールに移動しながらウェーハを連続的に操作します。位置フィードバックセンサーの助けを借りて、ロボットは毎回ウェーハの正確な配置と動きを保証します。最後に、モーションコントロールモジュールは、最適な位置決めを可能にするためにX軸とY軸に沿った正確な動きを提供することにより、ウェーハの動きを制御する責任があります。このモジュールは、ウェーハの速度と加速度を自動的に調整し、コンベアベルトに沿って移動します。ATR-8は、速度、信頼性、精度が最も重要なオートメーションアプリケーションに理想的なウエハハンドラです。ロボットのパワーと位置センサーの精度を組み合わせることで、幅広い業界に対応できるように設計されており、モジュール設計により最大4つのサブシステムのカスタム構成が可能です。洗練されたシンプルなアーキテクチャATR8、自動化プロセスの合理化に役立つ優れた選択肢です。