中古 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 #293800004 を販売中

BROOKS AUTOMATION Magnatran 7は、標準直径、薄型ウエハ、シリコンオンインシュレーター（SOI）基板、およびその他の光学薄型基板を転送、交換、移動、検査するために設計された完全に自動化されたウエハハンドリング装置です。このウェハハンドラは、効率的で安全な基板処理を保証するために、いくつかの重要な機能を提供します。Magnatran 7は垂直に取り付けられたウェーハローダーを使用しており、最大25個のウェーハを同時にロードおよびアンロードできます。このシステムには、小さな増分ステップの動きや可変回転速度など、幅広い動作を可能にする精密なエアベアリング式ステージが装備されています。また、ウェーハを斜めに配置しても、一定のウェーハ間ギャップを維持する滑らかな動きを保証します。BROOKS AUTOMATION Magnatran 7は位置検出機能も備えており、ステージとエレベーターはウェーハの位置を検出できます。ウェハハンドラには、障害物と接触したときに電源を即座に遮断する、感圧安全スイッチなどの高度な安全機能が組み込まれています。また、ユニットが動作していないときに電源を遮断する安全インターロックユニットもあります。さらに、Magnatran 7は、近くの他の機器との干渉を低減するために、低いElectro Magnetic Interference （EMI）モードの動作で設計されています。BROOKS AUTOMATION Magnatran 7のその他の機能には、ウェーハ間のアライメントが含まれます。これにより、ウェーハエッジの一貫した方向が保証されます。このマシンはまた、ウェーハ処理操作を完全に制御するコンピュータインターフェースを備えており、オペレータは簡単に設定やプログラムを変更することができます。Magnatran 7は、標準的な50ミリリットル厚のシリコンオンインシュレーター基板やその他の光学的に薄い基板など、幅広いウエハ寸法に対応できます。堅牢な構造とムーブメント機能により、幅広い半導体加工アプリケーションにおいて信頼性が高く、安全で正確なウェハハンドリングを実現します。