中古 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 003-1600-32 #9016584 を販売中

BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 003-1600-32 （M7）は、300mm半導体ウェハ用に設計されたウェハハンドラです。このウェハハンドリング装置は、さまざまな半導体デバイス製造プロセスの処理ステーション間でウェハを正確かつ迅速に輸送するように設計されています。M7は、ペイロード容量が32ウェハの4軸ウェハハンドラです。温度制御された環境内での高精度かつ再現性のあるウェーハ搬送が可能で、高い転送速度と精度を必要とする生産施設や研究施設に最適です。また、エラーロギング機能を備えたオンボードトラブルシューティングシステムも搭載しており、問題の識別と解決を迅速に行うことができます。M7は人間工学に基づいたデザインとさまざまな安全機能を備えています。リトラクト、アプローチ、ピック/プレイス、アンロード、デポジットの5つのセーフティゾーンが装備されています。これらにより、ユニットは改善された安全プロファイルを提供しながら、ユーザーまたはマシンとの干渉を検出して回避することができます。そのユーザー定義のモーションシーケンスは、WindowsベースのPC制御マシンを介して提供され、最速かつ最も信頼性の高いサイクルタイムに適切な迅速性とスループットを確保します。M7ウエハハンドラにはロードポイントセンサが搭載されており、取り扱うウエハの種類に応じて水平ロードセンサの深さを最適に調整できます。また、180°および± 90°ウェーハ回転用のグリッドパターン認識を備えており、プロセス全体で最高の精度と再現性を保証します。すべてのM7ウエハハンドラはISO 10648 Level 2に準拠しており、RTCA/DO-160 Classes 1および2で認定されています。また、最高の厳格な検証のためのFDA要件を満たしています。さらに、コンピュータ制御の操作により、ユーザーは特定の顧客要件を満たすようにプロセスパラメータを構成および調整することができます。M7は信頼性の高いウェーハハンドラで、ウェーハをあるステーションから別のステーションに素早く正確に搬送し、半導体デバイス製造に費用対効果の高いソリューションを提供します。精密かつ高度なモーションコントロールと自動安全機能により、高速および高精度の自動プロセスに最適です。