中古 BROOKS AUTOMATION Magnatran 6 #9157915 を販売中

BROOKS AUTOMATION Magnatran 6
ID: 9157915
Transfer robot.
BROOKS AUTOMATION Magnatran 6ウェハンドラーは、半導体、MEMS、およびLEDデバイス処理用の汎用性と信頼性の高いデジタルウェハハンドリングソリューションです。高い精度と再現性でウェーハを選び、配置することができ、生産効率を最大限に高めます。マグナトラン6には6つのウェーハハンドリングアームが装備されており、大量のウェーハを一度に処理することができます。ステッピングモーターと一体型ドライブエレクトロニクスで構成される10軸マニピュレータアーム装置を使用し、正確にウェハを選び、正確に配置します。120以上のウェーハをサポートできる機械式フィーダを使用して、インステージング/アウトルーチンを行います。BROOKS AUTOMATION Magnatran 6には、PCベースのグラフィカルユーザーインターフェイスを介してウェーハハンドリングアームを制御するための2つの独立したシステムがあります。オペレータは、端末や遠隔地のパラメータを簡単に操作できます。このソフトウェアには、ウエハハンドリング性能を最適化し、ウエハハンドリング操作を監視してプロセス監視と制御を改善するための特殊なアルゴリズムが含まれています。Magnatran 6はウェーハの取り扱いに加えて、ウェーハ上のパターンを正確にエッチングできるウェーハエッチングステーションを備えています。エッチングステーションには、調整可能なバッファリングシステム、調整可能なノズルチップ、真空ノズル設計が装備されており、大小のウェーハの両方で正確かつ再現可能なエッチングを保証します。BROOKS AUTOMATION Magnatran 6は、安全アラームユニットと安全ロックダウン機で最も厳しい安全基準を満たすように設計されています。安全ロックダウンツールは、動作中に不規則性を検出すると、Magnatran 6を自動的にシャットダウンします。BROOKS AUTOMATION Magnatran 6は、幅広い半導体、MEMS、 LEDデバイス処理タスクに対応できる柔軟で信頼性の高いウェハハンドリング資産です。高度な10軸マニピュレータアームモデル、調整可能なバッファリング装置、安全警報システムを備えたMagnatran 6は、優れた性能と高い精度と再現性を提供し、効率的なウェーハハンドリング操作を実現します。
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